课件(一)：惯性传感器简介.doc

惯性传感器简介(修改稿) 目 录 前言 惯性传感器分类…………………………………2 惯性传感器工作原理……………………………3 惯性传感器术语…………………………………5 1. 角速率陀螺术语 2. 线加速度计术语 惯性传感器敏感极性……………………………9 1. 角速率陀螺的敏感极性 2. 线加速度计的敏感极性 惯性传感器的安装要求…………………………10 惯性传感器的测量………………………………12 角速率陀螺的的测量 线加速度计的的测量 惯性传感器的应用………………………………20 1. 角速率陀螺的功用 2. 线加速度计的功用 3 惯性传感器的应用技术领域 4 MEMS角速率陀螺应用注意事项 前 言 ⑴ 我国最早的机械式框架陀螺仪__汉代被褥香炉。它是我 国西汉（公元前206年~公元24年）时期的产品，用于皇家 贵族。现在该陀螺仪存放陈列于陕西法门寺展览馆内。被褥 香炉的特点是：无论香炉怎么滚动，香炉内的木炭或其它炽 热物体或香料都不会掉出来，完全依靠滚动自如的机械道轨 运转。我们的祖先实在是了不起！ ⑵ 至少在1962年，我入大学时买的《俄华辞典》里没有传 感器（дАтчик）这个单词。到上世纪七十年代又是苏 联人发表一篇文章说21世纪将是传感器的时代。是的，现 代一辆高级小轿车已用到上百个传感器，其中惯性传感器占 较大比例。所以，我们公司现在的发展方向是对的。 一. 惯性传感器分类 惯性传感器分为两大类：一类是角速率陀螺；另一类是线加速度计。 角速率陀螺又分为：机械式干式﹑液浮﹑半液浮﹑气浮角速率陀螺；挠性角速率陀螺；MEMS硅﹑石英角速率陀螺（含半球谐振角速率陀螺等）；光纤角速率陀螺；激光角速率陀螺等。 线加速度计又分为：机械式线加速度计；挠性线加速度计；MEMS硅﹑石英线加速度计（含压阻﹑压电线加速度计）；石英挠性线加速度计等。 而惯性测量单元（IMU—Inertial Measurement Units）﹑惯性导航系统(INS—Inertial Navigation System)（含平台式﹑捷联式惯性导航系统及GPS╱INS组合导航系统，GPS—全球定位系统Global Position System）﹑垂直陀螺﹑航姿系统﹑倾角传感器等则是由这两大类衍生出来的实用惯性产品。 二.惯性传感器作用原理 角速率陀螺的作用原理 (1)．科里奥利(Coriolis)原理：也称科氏效应（科氏力正比于输入角速率）。该原理适用于机械式干式﹑液浮﹑半液浮﹑气浮角速率陀螺；挠性角速率陀螺；MEMS硅﹑石英角速率陀螺（含半球谐振角速率陀螺）等。Coriolis法国物理学家（1792年～1843年）。 (2)．萨格纳（Sagnac）原理：也称萨氏效应（相位差正比于输入角速率）。该原理适用于光纤角速率陀螺；激光角速率陀螺等。Sagnac法国物理学家（1869年～1926年），居里夫妇的朋友。1913年发明萨氏效应。 现以MEMS硅（硅微）角速率陀螺为例，介绍角速率陀螺的科里奥利(Coriolis)工作原理：MEMS硅角速率陀螺依据谐振器陀螺原理工作。陀螺内有两个多晶硅敏感结构，每一个含有一个高频振动的框架，该框架被静电式地驱动而谐振，形成了必要的速率元件，使在正交于谐振运动的方向有角速率时就会产生科里奥利力（由科氏加速度产生），这个科里奥利力与输入角速率成比例。框架的两个外端就是可动的指状机械手，并被安置在固定的指状机械手之间组成一个电容式敏感结构，以敏感有输入角速率时按科里奥利原理运动产生的电信号，该电信号被输送到放大解调滤波等信号处理电路，从而输出正比于角速率的直流电压信号。 线加速度计的作用原理 线加速度计的作用原理就是牛顿第二定律：F=mA(力正 比于输入线加速度)。适用于各类线加速度计。 现以挠性线加速度计为例，介绍线加速度计的工作原 理：挠性线加速度计的工作原理是将用合金制成的挠性杆支撑的质块置于供电线圈的磁场中，没有线加速度时质块处于中立位置，用于输出的感应线圈上的磁通量为零，没有输出信号。如果有正线加速度时，按牛顿第二定律：F=mA，有正加速度A，就有正向力F，而且力和加速度成正比。此时挠性杆上的质块在正向力F的作用下就偏离中立位置，使输出的感应线圈Ⅰ上的磁通量增加，感应线圈Ⅱ上的磁通量减小，输出的感应线圈上总磁通量方向就为正方向，自然，感应的输出电压或电流也就对应正的加速度。有负加速度时，亦然。感应的输出电压或电流也要经过放大解调滤波等信号处理电路，输出正比于输入加速度的直流电压信号。 三.惯性传感器术语 1. 角速率陀螺术语 (1)．测量范围（°/ S）Measurement Range 也称量程。指陀螺仪能测量正、反方向角速率的额定值范围。在此额定值范围内，陀螺仪刻度因数非线性满足规定