3位移传感器教案.ppt

螺线管式电感位移传感器 电容式传感器测物位 超声波测量液位和物位原理 在液罐上方安装空气传导型超声发射器和接收器，根据超声波的往返时间，就可测得液体的液面。 超声波测量液位和物位 喇叭形 超声发生器 3.4.2 大位移传感器 光栅式传感器、磁栅式传感器、感应同步器、 激光式位移传感器 反射式光栅 透射式光栅 透射式圆光栅 2. 光栅读数头 光栅的外形及结构 光栅的外形及结构（续） 光栅尺及数显表 光栅尺在机床导轨上的安装 2．光栅尺的安装与调整 1－床身；2－光栅尺；3－扫描头； 4－滚珠丝杠螺母副；5－床鞍 光栅尺在机床上的安装示意图 为光栅设计的专用数据转接器（光栅计数卡） 为光栅设计的专用信号处理单元 （光栅插补器） 光栅在机床上的安装位置（2个自由度） 光栅在机床上的安装位置（3个自由度） 光栅在机床上的安装位置 （3个自由度）（续） 2自由度光栅数显表 3自由度光栅数显表 光栅数显表（续） 三座标数显表 SDS8-3E 光栅数显箱功能: 公制/英制转换绝对/相对转换线性误差补偿正反方向计算归零插值补偿到达目标值停机PCD圆周分孔200组零位记忆电蚀深度目标值显示实时工作位置显示掉电记忆 光栅数显表（续） 设定按键 安装有直线光栅的数控机床加工实况 磁栅传感器 磁栅价格低于光栅，且录磁方便、易于安装，测量范围宽可超过十几米，抗干扰能力强。磁栅可分为长磁栅和圆磁栅。长磁栅主要用于直线位移测量，圆磁栅主要用于角位移测量。磁栅传感器主要由磁尺、磁头和信号处理电路组成。 磁栅的外形及结构 磁头与磁尺相对运动时的输出波形演示 鉴相型磁栅数显表的原理框图 磁栅测量系统 磁栅在磨床测长系统中的应用 2．感应同步器的工作原理 1、对滑尺上的绕组通以交流电，根据电磁原理，将在定尺绕组上感应出电压，定尺绕组中感应电压是滑尺上正弦绕组和余弦绕组所产生的感应电压的矢量和。滑尺每移动一个节距，定尺上感应电压按余弦规律变化一周。 2、由于定尺上感应电压变化的周期与滑尺相对定尺移动的节距2? 对应，而节距又与工作台的实际位移x有关，从而可以间接对工作台的位移进行检测，这就是感应同步器的工作原理。 　　2. 莫尔条纹的宽度 　　横向莫尔条纹的宽度B与栅距W和倾斜角θ之间的关系， 可由图5-9（b）求出（当θ角很小时）： （5-5） 　　3. 莫尔条纹的特点 　　式（5-5）说明莫尔条纹具有以下特点： 　（1） 对位移的光学放大作用：即把极细微的栅线放大为很宽的条纹，便于测试。例如θ=10′，则　　　　， 若W=0.01 mm,则B=3.34 mm。  　（2） 连续变倍的作用： 其放大倍数可通过使θ角连续变化， 从而获得任意粗细的莫尔条纹。 　　（3） 对光栅刻线的误差均衡作用： 光栅的刻线误差是不可避免的。 由于莫尔条纹是由大量栅线共同组成的， 光电元件感受的光通量是其视场覆盖的所有光栅光通量的总和， 具有对光栅的刻线误差的平均效应， 从而能消除短周期的误差。 例如对50线/mm的光栅（W=0.02 mm），用5 mm×5 mm的光电池接收， 光电池视场内覆盖250条栅线。 若每条刻线误差为δ0=±0.001 mm，则平均误差　　　　　　　　　　。 　　4. 莫尔条纹的移动方向 　　当主光栅沿栅线垂直方向移动时， 莫尔条纹沿着夹角θ平分线（近似平行于栅线）方向移动。 莫尔条纹移动时的方向和光栅夹角的关系见表5-1。 表5-1 莫尔条纹和光栅移动方向与夹角转向之间的关系 　　5. 莫尔条纹测量位移的原理 　　光栅每移过一个栅距W，莫尔条纹就移过一个间距B。通过测量莫尔条纹移过的数目，即可得出光栅的位移量。  　　由于光栅的遮光作用， 透过光栅的光强随莫尔条纹的移动而变化， 变化规律接近于一直流信号和一交流信号的叠加。 固定在指示光栅一侧的光电转换元件的输出，可以用光栅位移量x的正弦函数表示， 如图5-10所示。只要测量波形变化的周期数N（等于莫尔条纹移动数）就可知道光栅的位移量x，其数学表达式为 x=N·W 图5-10 光电元件输出与光栅位移的关系 光栅在数控车床上的安装位置 三、光栅 三、光栅 光栅在数控镗铣床上的安装位置 内部包含以下电路：放大、整形、细分、辨向、报警、阻抗变换等。 功能同上页 数显表 X位移显示 Z（Y）位移显示 防护罩内为直线光栅 光栅扫描头 被加工工件 切削刀具 角编码器安装在夹具的端部 磁 栅 传 感 器 1 磁栅的结构 　　磁栅传感器由磁栅（简称磁尺）、 磁头和检测电路组成。 磁尺是用非导磁性材料做尺基， 在尺基的上