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外文翻译
专 业 机械电子工程
学 生 姓 名 张 华
班 级 B机电092
学 号 0910106205
指 导 教 师 袁 健
外文资料名称：Research，design and
experiment of end effector
for wafer transfer robot
外文资料出处：Industrail Robot：An International Journal
附 件： 1.外文资料翻译译文
2.外文原文
指导教师评语：
签名：
年 月 日
晶片传送机器人末端效应器研究、设计和实验
刘延杰、徐梦、曹玉梅
张华译
摘要：目的——晶片传送机器人扮演一个重要角色IC制造行业并且末端执行器是一个重要的
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