现代仪器——电子显微镜.要点讲解.pptVIP

电子显微镜 Electron Microscope， EM 目录 1 2 3 4 概述 重要参数 透射电子显微镜 扫描电子显微镜 5 样品制备处理 一、概述 电子显微镜：是利用电子与物质作用所产生之讯号来监定微区域晶体结构、微细组织、化学成份、化学键结和电子分布情况的电子光学装置。 常用的有透射电子显微镜和扫描电子显微镜。 分辨率：它所能分辨的相邻两点的最小间距。 （分辨能力是电子显微镜的重要指标） 放大率：被观察物体经电子显微镜放大后，在同一 方向上像的长度与物体实际长度的比值。 聚焦： 就是让成像在透镜的焦点上。 二、重要参数 三、透射电子显微镜TEM 透射电子显微镜是以波长极短的电子束作为照明源，用电磁透镜来聚焦成像，因此有很高的放大倍数（106倍），高分辨率（0.1nm）。 工作原理 03 06 04 01 02 05 电子枪发射电子束 经聚光镜聚焦 照明样品 电子束穿过样品 图像被中间镜和投影镜逐步放大 在荧光屏或感光底 片上成像 结构 TEM光路图 （1）电子光学系统 由电子枪、聚光镜和物镜光阑 、选区光栏、中间镜 、投影镜 组成。 照明系统 成像系统 观察记录系统 照明系统 作用是： 提供光源（控制其稳定度、照明强度和照明孔径角）； 选择照明方式（明场或暗场成像）