第2章半导体材料特性要点解读.pptVIP

了解原子的结构和结合是认识硅扮演着半导体材料重要角色的关键。这些知识一旦掌握，就为理解简单的半导体器件如何能充当复杂微芯片世界的一部分提供了基础。 目前，应用中最重要的半导体材料是硅。硅用来制造器件并发挥半导体的作用，源于它独特的材料性质。本章首先回顾了与分立原子有关的物理和化学概念，接着用这些知识来研究硅材料，以认识它独特的物理和化学结构以及为何具有半导体的性质。本章建立的基本材料和半导体概念将会用于整个硅片制造的不同工艺步骤中。 2.1 原子结构 在原子模型中，原子由三种不同的粒子构成：中性中子和带正电荷的质子组成原子核，以及绕核旋转的带负电荷的电子。原子中的质子数和电子数相等，这使得原子呈电中性。 元素是同种原子构成的最简单的物质，具有特定的物理和化学性质。分子是由两个或更多的原子构成的、通过化学作用紧密束缚在一起的结构，表现为一个独立的单元。化合物则由两个或更多的原子构成（相同或不同的），它们通过化学作用紧密束缚在一起，形成一种性质不同于组分原子的新物质。 2.1.1 电子 微观状态下发生的吸引和排斥作用定理是同种电荷相互排斥荷异种电荷相互吸引。带负电的轨道电子分布为一个绕核的空间电子云，通过与带正电的核的相互吸引作用来保持其位置。各个电子占据了包含7个不同壳层的轨道。例如，在一个氢原子内部，每个壳层对应了一个特定的能级，以从K到Q的字母来区分。而对于被称为多电子原子的其他所有原子而言，每个壳层的轨道能量并不同。 电子能级 原子级的能量单位是电子伏特（eV）。它代表一个电子从低电势处移动到高出1V的电势处所获得的动能（与运动相联系的能量）。1电子伏特等于1.6×10-19焦能量。电子伏特用来描述半导体制造不同步骤中的电子能量。 2.1.1 电子 价电子层 给定一种原子，最外部的电子层就是价电子层。价电子位于价电子层，并以给定原子种的最高能级状态存在，对原子的化学和物理性质具有显著的影响。价电子层中的电子数随壳层等级从K到Q变化。原子中的价电子层允许容纳8个电子，只有一个价电子的原子很容易失去这个电子。另一方面，原子的价电子层有7个电子时则具有电子亲和性，很容易接收一个电子来填充价电子层。 固体能带理论 能带理论解释了固体材料中电子怎样改变轨道能级。价电子分布于价带内。价带和导带之间存在一个禁带宽带。某些材料中禁带宽度具有能量很高的能级而产生了一个禁带（通常大于2eV）。这类材料被称为绝缘体，因为电子从价带移动到导带很困难。另一类称为导体的材料中，价带与导带交叠，电子从价带移动到导带只需要很小的能量。第三类材料具有介于绝缘体和导体直间的禁带能量级别，这类材料被称为半导体。半导体的禁带宽度处于中等程度。硅的禁带宽度为1.11eV。 2.1.1 电子 离子 当一个原子失去或得到一个或多个电子时成为离子。原子失去电子时带正电荷而得到电子时带负电荷。带上相反电荷的离子相互吸引，能够构成化学键形成离子化合物。 常见的食盐氯化钠就是一个离子化合物的例子。钠原子是一种金属原子，最初是电中性的，因为它的质子数和电子数相等。如果它失去一个电子，便成为带正电的Na+，被称为阳离子。一个非金属的氯原子，得到一个电子就成为带负电的Cl-，被称为阴离子。 Na+和Cl-由于带有相反的电荷而相互吸引形成了离子化合物。 许多气体以分子形式存在。电离是从原子中移去电子的过程，产生了带正电的原子或分子。电离用于半导体制造的许多工序中。一旦气体粒子通过电离而带电，气流和原子运动就可以通过静电场和磁场得到控制。 2. 2 周期表 周期表罗列了目前已知的所有元素。以这种方式组织是因为元素间特定的周期行为模式。 周期表中每个元素都有一个对应的方框。周期表中的每个元素框提供关于元素的信息，包括以下内容： 原子符号：代表每个元素的符号（例如，Si即硅）。 原子序数：等于原子核中的质子数。特定元素的所有原子具有相同的原子序数（因此也具有同样的电子数）。 原子质量数：原子中的质子数和中子数之和。同种元素的同位素具有相同的质子数及不同的中子数，因此同位素具有不同的质量数。 原子量：也叫原子质量。这个数字是一种元素自然生成的同位素质量按照其丰度的平均值。原子质量单位（amu）是质量的相对量度，精确等于碳12原子质量的1/12。 我们将主要关注周期表