超精密加工概要.ppt

超精密加工机床精度分析，误差综合建模及检测分析 9线法检测 主要仪器：双频激光干涉仪 检测过程：进给系统的一个运动部件平动，工作台坐标系中选择三条直线，测量出三条直线上各点的位移误差，并且其中一条直线同时测量出两个互相垂直方向的直线度误差，一条直线同时测量出一个方向的直线度误差。利用测得的位移误差和直线度误差，获得21项误差数据。 超精密加工机床精度分析，误差综合建模及检测分析 2. 主轴的径向、轴向跳动，回转误差检测 主要仪器：测微仪 检测过程： 超精密加工机床精度分析，误差综合建模及检测分析 3.不同温度条件机床空间定位误差的测量及分析 主要仪器：温度传感器，双频激光干涉仪 检测过程：机床不同的温度条件下，重复进行机床9线法和主轴 精度测量。 获得与温度相关的14项误差参数 超精密加工机床及其关键零部件动态性能测试理论及方法 4.2动态输出特性（刚度等）测试（张朋） 4.3热态性能测试（刘俊峰） 4.4伺服控制性能测试 单文桃 超精密加工机床整体性能改进方法 5.1运动精度改进（零部件改进（张朋），伺服控制性能改进（胖子），驱动性能改进（电机）（单文桃）等，） 5.2动态输出特性改进（动平衡（刘俊峰），振动控制（张朋），预紧力调节（张朋）） 5.3热态特性改进（热误差补偿，冷却方式）（刘俊峰）