洁净室检测与调试技朮方案.ppt

2.相关规范及检测内容 2. 1 国外: FS209 A~E → ISO14644、14698。 2.2 国内: 《洁净厂房设计规范》附录GBJ73-84 → GB50073-2001 　　　　　　　《洁净厂房施工及验收规范》JGJ71-90 2.3检测内容 目前国内并行使用的两规范进行比较(表1-1) 还应注意行业规范的规定(例如表1-2),有矛盾时应按行业规范执行。 GB50073-2001较新, 三项必测和八项选测。见下表： GB50073中三项基本项目 GB50073中八项洽商选测项目 2.4对主要检测项目的分析 2.4.1从洁净室基本原理要素分析三个基本必须测项目 的重要性; a.密闭正压 防止外气侵入。 b.送风净化 初、中、高效过滤，保证进风洁度。 c.换气充足 充足的稀释能力。 2.4.2高效过滤器检漏的重要性: a. 滤漏与泄漏的关系 b.? 泄漏的危害 ① 生物粒子孳生 ② 平行流洁净室可靠性下降。 2.4.3注意事项: 检测状态; 动、静关系；不能以一 （洁净度）概全。 3．各参数主要的测定仪表 3.1 风压: U型压差计、倾斜压力计、比托管、弹性压差计等。 3.2 风速和风量： 风速：机械式、散热率式、比托管式。热电偶式－热球风速计。 风量：用风口法和风管法, 均为平均风速×断面积、仪表同风速检测仪表。 3.3 洁净度: 尘埃粒子计数器(白炽光： 只能测0.5微米以上，激光能测更小 　　　　　　　　 粒子达0.1微米)。 原因：激光光强高100倍以上。 多级冲击采样器、离心式采样器（多用于生物粒子或较大粒子） 3.4 温度: 膨胀式、压力式、热电偶式、电阻式等仪表。 3.5 相对湿度: 干湿球温度计、电子式湿度计等。 3.6 噪声: A级－与人耳感觉相近。 倍频程－判断噪音来源 3.7 照度: 光→电元件。 3.8仪表使用注意事项 3.8.1应定期进行标定: a. 国家计量部门的标定(有国家技术监督局的授权书)- 温度、 压力、风速等 b. 行业归口的科研单位标定(国家计量部门暂无此项业务如粒子 计数器)等。 c. 仪器出厂时的标定，风速仪、粒子计数器。 　 净室综合性能评价测定－ a、b。 施工单位调试测定－a、b、c。 3.8.2 应熟读仪器使用说明书。 3.8.3注意仪器初始零点的调整和灵敏度的调整。 4．各项指标的检测方法、程序规则、判定标准： 4.1. 风速和风量: 平均风速×截面面积 4.1.1. 单向流洁净室: 4.1.2. 乱流洁净室: 风口法 4.1.3. 干管和支管: 风管法: 注意稳定段长度:3d~5d。 注意: 风速测点前应无遮挡物, 尽量用支架固定, 若手持时在风速≤0.1m/s时　　　　　误差较大。测量者身体位置, 应尽量减少身体的干扰。 4.1.4. 判定标准: 总风量: 0～20％ 各风口风量：±15% 新风量：±10% 4.2. 静压差测定 4.2.1 注意事项: a 检查所有门是否关严。 b 测压管周围要尽量密封，尽量从门下软垫处伸管，如开门缝则会造成压差下降， 重要位置以加测压表为好。 c 测洁净区与室外时,注意刮风和朝向的影响。 d 要求从洁净度高到低依次进行。但在调试时宜从外至内调整。 4.2.2??合格标准： a 不同级别及室内洁区与非洁区之间 ≥5Pa 　　　 b 洁净室与室外应 ≥10Pa c 100级以上单向流门内0.6m处洁净度应合格。 4.2.3? 当洁净室直接有孔洞（传送带）与外界相通时，应以污染泄漏流速≥0.2m/s来衡量。 4.3.????洁净度测定 4.3.1 注意事项: a.测定前提：风量、正压调完；室内按要求进行清洁打扫、生物洁　 　　　　　净室应按要求消毒，足够的预净（空吹）时间。 b.最多二人穿洁净服进入,且尽量在下风向。 c.仪器需校准；移动测点后要有1～2 min稳定时间。 4.3.2.?? 布点: 面