第四章电容传感器2教程方案.pptVIP

2002/12总结 CH4 电容式传感器 1传感器的工作原理及结构类型 2信号调理电路 3电容式传感器的应用举例 4容栅式传感器 5电容式集成传感器 电容式传感器的工作原理、类型和特点 电容式传感器的应用 电容传感器可用来测量直线位移、角位移，振动振幅(可测至0.05μm的微小振幅)，尤其适合测量高频振动振幅、精密轴系回转精度、加速度等机械量，还可用来测量压力、差压力、液位、料面、粮食中的水分含量、非金属材料的涂层、油膜厚度、测量电介质的湿度、密度、厚度等等。在自动检测和控制系统中也常常用来作为位置信号发生器。 当测量金属表面状况、距离尺寸、振动振幅时，往往采用单电极式变极距型电容传感器，这时被测物是电容器的一个电极，另一个电极则在传感器内。 可见只有当 很小时，才可认为 即在任何中性点附近，电容量的相对变化与位移的相对变化成正比。只有比值?δ/δ 很小时才可认为是接近线性关系，这就意味着使用这种形式传感器时，被测量范围不应太大。 实际应用中，为了改善非线性、提高灵敏度和减小外界因素(如电源电压、环境温度)的影响，常常作成差动式结构或采用适当的测量电路来改善其非线性。 差动变极距型传感器 在差动式平板电容器中，当动极板位移Δd时，电容器C1的间隙δ1