电容式加速度传感器课程设计1003030304要点分析.docVIP

摘?要? 随着科学技术的不断发展，自动化智能化一步一步走入人们生活中的每一个角落。然而自动化与智能化的实现无疑离不开传感器。传感器这个大家族之中，电容式传感器又占有举足轻重的位置。电容器传感器的优点是结构简单,价格便宜，灵敏度高，零磁滞，真空兼容，过载能力强，动态响应特性好和对高温、辐射、强振等恶劣条件的适应性强等。缺点是输出有非线性，寄生电容和分布电容对灵敏度和测量精度的影响较大，以及联接电路较复杂等。本课程设计设计了一种基于MEMS的电容式测量加速度的传感器。 ?基于微机电系统( MEMS)技术的微机械加速度传感器具有体积小、质量轻、启动快、功耗低、易集成、可靠性好、抗过载能力强和成本低廉等诸多优点，在航空航天、汽车技术机器人技术、工业自动化、掌上电子产品等诸多领域得到了广泛的应用。根据其敏感信号方式，可以分为微型电容式速度传感器、微型压阻式加速度传感器、微型压电式加速度、感器和微型隧道电流式加速度传感器等。 关键词：电容 加速度 传感器 信号放大 微电子机械系统 目录 第一章 绪论···············································3 1.1?课题研究的相关背景······························3 1.2?选题的目的和意义?·······························4 1.3?课题研究的内容··································5 1.4?国内外研究现状··································5 1.5?传感器目前存在的主要问题························5 第二章 结构设计··········································6 2.1 微机械电容式加速度计的结构设计原则·············6 2.2 微机械电容式加速度计的三种常见结构·············6 2.3 电容式加速度传感器设计方法选择与优化···········7 2.4 电容加速度传感器结构梁的设计···················10 2.5微机械电容式加速度传感器的设计参数··············14 2.6传感器工作原理及数据计算························16 2.7微机械加工工艺·································17 第三章 测控电路·········································18 3.1转换电路·······································18 3.2正弦波产生电路·································19 3.3 仪用放大器 参考文献·················································25 附录1···················································26 附录2···················································27 附录3···················································28 第一章 绪论 1.1?课题研究的相关背景 传感器是一种应用非常广泛的设备，在各种自动控制过程中，它能迅速客观地反映出实际情况。电容式传感器有很多，但原理相同。平行板电容器的电容C跟介电常数ε成正比跟正对面积成反比根极间的距离d成反比有：?C=εS/4πkd??式中k为静电力常量。通过改变介质，极板距离，极板正对面积，这三个参数之一使传感器的电容发生变化，再通过电荷放大器，将电容变化或电量变化转换成容易用电 路处理电压或电流量。这就是电容式传感器的特点，通过上面的原理可以做成很多传感器，比如测长度的，测角度，测空气粉尘，空气湿度，还有声音，振动等，精度很高，比如测振动的精度可以达到零零几个微米。但是测长度的线性度不好，需要通过电路矫正，还有容易受到电路中的寄生电容的影响，所以电路设计的时候要很注意。? 把被测的机械量，如位移、压力等转换为电容量变化的传感器。它的敏感部分就是具有可变参数的电容器。其最常用的形式是由两个平行电极组成、极间以空气为介质的电容器。若忽略边缘效应平板电容器的电容为εA/δ，式中ε为极间介质的介电常数，A为两电极互相覆盖的有效面积,δ为两电极之间的距离。δ、A、ε?三个参数中任一个的变化都将引起电容量变化，并可用于测量。因此电容式传感器可分为极距变化型、面积变化型、介质