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设计院各塔工艺参数 TCS STC DCS HCL PCL3 BCL3 甲基二氯硅烷 1#塔 顶 99% 0.3% 0.7% 669PPB 釜 81% 19% 99PPM 2#塔 顶 100% 170PPB 釜 0.4% 99.6% 521PPM 70PPB 3#塔 顶 100% 1PPB 釜 ~100% 678PPPB 231PPM 4#塔 顶 100% 1PPB 釜 ~100% 2PPM 5#塔 顶 100% 1PPB 釜 ~100% 2PPM 6#塔 顶 96.8% 154PPB 3.2% 中 52PPM ~100% 釜 418PPB ~100% 7#塔 顶 28.4% 71.6% 中 99.1% 0.9% 釜 100% 146PPM 8#塔 顶 7.4 91.2% 1.3% 411PPM 釜 ~100% 1PPB 9#塔 顶 0.4% 99.6% 釜 99.6% 0.4% V03A12 79.2% 19.4% 1.4% 101PPM 65PPM V03A13 ~100% V03A14 ~100%