学习导航 14.1.2 压力测量传感器 1.弹性元件压力传感器 各种压力计和压力传感器多采用弹性变形法,将压力先转换为位移(或应变),利用元件的弹性变形直接推动一个机械结构以指示读数,或者用传感器把机械运动转变成电信号以供显示或控制。 (1) 波登管 截面为扁形,在流体压力下鼓起,导致封闭的自由端位移。 测量精度高,体积大,固有频率低, 滞后较大,不适宜动态压力测量。 膜片是用弹性材料制成的圆形薄片式压力传感器,主要有平膜片、波形膜片和悬链式膜片。应用时,膜片的边缘刚性固定作为腔体的密封元件,在流体压力作用下,膜片的中心产生位移,可以用位移传感器测量位移;或在膜片表面粘贴应变片测量应变。 (3)波纹管 波纹管是一种表面上有许多同心环状波纹的薄壁圆筒。波纹管作为压力敏感元件,使用时应将开口端焊接于固定基座上并将被测流体通入管内。在流体压力的作用下,密封的自由端会产生一定的位移。在波纹管弹性范围内,自由端的位移与作用压力呈线性关系。 2.应变式压力传感器 平膜片任意位置的应变是压力的函数。 3.电容式压力传感器 电容式压力传感器是将压力转换成电容的变化,经电路变换成电量输出 4.压电式压力传感器 压力通过膜片作用于压电晶体,动态响应能力强。 对晶体加预紧力,防止冲击损坏。 温度补偿:水冷;用线膨胀系数大的金属片补偿晶片与金属的膨
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