特气安全详解.ppt

W*J 气体输送系统安全 气体输送系统安全 After this training, you will be able to: 了解半导体/电子行业气体种类及特性 了解低温气体的危害及防护 了解如何确保气体输送系统安全 了解如何正确操作钢瓶 了解gas-handling设备及其功能 了解系统输送系统的部件及其功能 了解gas cabinet和VMB/P 设计准则 气体输送系统的三大设计准则 Safety Process Control 工艺控制（流量、压力等） Purity Control 纯度控制（纯度/颗粒度） 气体分类一 根据气体储存形式不同，分为： Bulk Gas 大宗气体（特指Ar, N2, O2, He, H2） Specialty Gas 特种气体 (SiH4, NH3, CF4, etc.) Compressed Dry Air干燥压缩空气 气体分类一—大宗气体 Bulk Gas 大宗气体--N2/Ar/O2 通常半导体工厂，厂务N2/ Ar/ O2以液态储存在槽罐内 气体分类一—大宗气体 低温液体 在常压下沸点低于-240oF (-115oC) 例如 　O2液化温度(-297 oF) (-183oC) 　Ar液化温度(-302 oF) (-186oC) 　N2液化温度(-320 oF)