微細製造簡介.ppt.pptVIP

微細製造簡介 (1)微機電系統(MEMS) (2)奈米技術 微機電系統 (1)涵蓋範圍：尺度從數厘米至奈米。 (2)生產能作動的微小化機器或機構 (3)微機電系統的三個主要元件是微致動器、微感測器與積體電路。 (4)微機電系統最主要的特徵：微小化 (5)微小化的優點 可使用在高精度與高穩定度的機構中 可將多個相同的元件製作在一個小區域內 具備批量生產的能力。 微機電系統 (6)微小化途徑： (1)沿用半導體製程 (2)利用電子束、雷射束或離子束等能量 束進行切割或刻痕加工。 (3)以微放電加工的熱來移除微量材料 (4)利用LIGA製程，製作微米尺度之模具。 LIGA製程 (1)LIGA為德文光刻、電鑄與模造字首之縮寫 圖(a)圖(b)，基板加光阻劑再以製作好之光罩作圖案曝光與顯影。 圖(c)將基板置入電解槽中接陰極作電鑄 圖(d)待電鑄層達所需厚度即與基板脫離而得微細結構的機件。 奈米技術 奈米科技指的是控制長、寬、高至少有一邊小於100nm的物質結構和功能的相關技術。 奈米科技的發展路徑(1)由上往下：將材料的不斷切割，即半導體微細加工技術由早期線寬數十微米，進步到奈米尺度。(2)由下往上：藉由控制原子、分子的排列組合而產生各種所需特性的新材料。 晶圓尺寸往大的方向發展、電