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长光栅莫尔条纹的形式 横向条纹:P1=P2, θ很小; 纵向条纹: P1~P2, θ=0; 斜条纹: P1~P2, θ很小. 5.4.2 激光测距仪 激光测距仪的类型 脉冲激光测距仪 相位激光测距仪 激光测距仪的特点 测程远、测量精度高 结构小巧、携带方便 快速、非接触式距离测量 激光对点准确 受气象条件影响较大 激光测距仪广泛应用于工业、国防军事、科学技术。 * 5.4 直接检测系统的举例 计量光栅可分为透射式光栅和反射式光栅两大类,均由光源、光栅对、光敏元件三大部分组成。光敏元件可以是光敏二极管,也可以是光电池。透射式光栅一般是用光学玻璃或不锈钢做基体,在其上均匀地刻划出间距、宽度相等的条纹,形成连续的透光区和不透光区。 5.4.1 莫尔条纹测长仪 在检测技术中常用的是计量光栅。计量光栅主要是利用光的透射和反射现象,常用于位移测量,有很高的分辨力,可优于0.1?m。 黑白光栅 1、莫尔条纹光栅原理 构成: 主光栅--标尺光栅,定光栅; 指示光栅--动光栅 简单光栅读数头 1:灯,2:聚光镜,3:指示光栅,4:长光栅,5:光电探测器 计量光栅 将指示光栅与标尺光栅 (节距分别为P1和P2)叠加在一起,并且两者的栅线成很小的角度θ,在长光栅中标尺光栅固定不动,而指示光栅安装在运动部件上,所以两者之间可以形成相对运动。在两光栅的刻线重合处,光从缝隙透过,形成亮带;在两光栅刻线的错开处,由于相互挡光作用而形成暗带,这种亮带和暗带形成明暗相间的条纹称为莫尔条纹,条纹方向与刻线方向近似垂直。 莫尔条纹是周期性函数,这就是莫尔条纹的光强调制作用。通常在光栅的适当位置安装光敏元件,即可检测到亮暗变化。? 纵向条纹 横向条纹 纵向条纹 当指示光栅沿x轴(例如水平方向)自左向右移动时,莫尔条纹的亮带和暗带将顺序自下而上不断地掠过光敏元件(在演示中就是我们的眼睛)。光敏元件“观察”到莫尔条纹的光强变化近似于正弦波变化。光栅移动一个栅距P,光强变化一个周期。 由于光栅的刻线非常细微,很难分辨到底移动了多少个栅距,而利用莫尔条纹具有放大作用,当光栅移动了一个节距时P,莫尔条纹移动了一个宽度B。且满足关系式: ? … 1 2 3 0 6 7 4 5 i 1 2 3 0 6 7 4 5 j … [0,0] 1 3 2 P1 P2 j i x y A B 光栅A的刻线方程为 x=i P1 光栅B的刻线j与x轴交点的坐标为 莫尔条纹1的方程为 莫尔条纹1的斜率为 P1 P2 j i 莫尔条纹1的方程为 同样,莫尔条纹2、3的方程为 由以上三方程可得:莫尔条纹是周期函数,其周期T=P2/sinθ,也叫莫尔条纹的宽度B。 当P1=P2时,莫尔条纹中线斜率为 莫尔条纹有如下特征: 1)平均效应:莫尔条纹是由光栅的大量刻线共同形成的,对光栅的刻划误差有平均作用,从而能在很大程度上消除光栅刻线不均匀引起的误差。 ?2)对应关系:当指示光栅沿与栅线垂直的方向作相对移动时,莫尔条纹则沿光栅刻线方向移动(两者的运动方向相互垂直);指示光栅反向移动,莫尔条纹亦反向移动。在图中,当指示光栅向右移动时,莫尔条纹向上运动。 ?3)放大作用:莫尔条纹的间距是放大了的光栅栅距,它随着指示光栅与主光栅刻线夹角θ而改变。θ越小,B越大,相当于把微小的栅距P扩大了 倍。由此可见,计量光栅起到光学放大器的作用。 ?计量光栅的光学放大作用与安装角度有关,而与两光栅的安装间隙无关。莫尔条纹的宽度B必须大于光敏元件的尺寸,否则光敏元件无法分辨光强的变化。 ?4)莫尔条纹移过的条纹数与光栅移过的刻线数相等。例如,采用100线/mm光栅时,若光栅移动了x mm(也就是移过了100×x条光栅刻线),则从光电元件面前掠过的莫尔条纹也是100×x条。由于莫尔条纹比栅距宽得多,所以能够被光敏元件所识别。将此莫尔条纹产生的电脉冲信号计数,就可知道移动的实际距离了。 一般情况下,工作台移动进行长度测量时,指示光栅移动的距离为: N:指示光栅移动距离中包含的光栅线对数,δ:小于1个光栅节距的小数。 2、光电传感器输出信号波形 当光栅相对位移一个节距时,莫尔条纹移动一个条纹宽度,相应照射在光电池上的光强度发生一个周期的变化,使输出电信号周期变化,其输出波形如图: 由此可知,只要计算输出电压的周期数,便可测出位移量。从而实现了位移量向电量的转换。在一个周期内,输出波形的变化是位移在一个节距内变化的余弦函数,每一周期对应一个节距。 但是如果只用一个光电元件,其输出信号还存在两个问题: ① 辨向问题:用一个光电元件无法辨别运动方向; ② 精度低;分辨率只为一个栅距P。 辨向原理: 用两个
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