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Contents Contents Contents Contents Contents Contents Contents Contents 电浆 Plasma 断/短路测试机 ATOS (Open/Short Tester) TFT的电性测试设备 AMSR (Sheet Resistance) 退火 测试机 为去光阻机的模组之一，用来去除制程的有机残留 电感偶式电浆蚀刻机 电浆蚀刻机 反应性离子蚀刻 中 文 说 明 ATTG (TEG Tester or TFT Device Measurement) AMSR (Sheet Resistance) Anneal Tester O3 Asher ICP (Inductive Coupled Plasma) PE (Plasma Etch) RIE (Reactive ion etching) 英 文 专 有 名 词 生产作业系统及工艺专有名词 膜厚量测仪(前者简称Sopra，后者简称Nano) AMEL; AMOT (Film Thickness) 目视检查机，Array段制程的最后出货前检查 高倍显微鏡，主要在检视曝光后、蚀刻后及去光阻后表面的线路图案检查(简称Olympus) 量测设备用以测量关键线宽CD，及借量测Box重叠狀況来检视Stepper的精度 表面轮廓检