材料合成化学报告.ppt

真空泵 (7)吸附泵 利用分子筛对气体物理吸附的可逆性，即在低温下吸附气体、升温后又解吸的功能来实现抽气。除了氢、氦和氖等极难液化的气体(它们的沸点均在28K 以下)外，其他气体均能高效率地被吸附泵抽出。 吸附泵能在大气压力下开始抽气，常作为无油蒸气污染的前级泵使用，在液氮温度下使用吸附剂时，其极限真空度可达到1Pa 左右。 吸附泵必须装有安全压力释放阀门，以使升温时由吸附剂解吸出来的气体经此阀门逸出，防止压力过高而爆裂。 吸附泵吸气量大、无污染、无噪声、无振动。连续使用较长时间后，分子筛会逐渐粉化，应予以更换。 */* 真空泵 (8)升华泵和吸气剂泵 它是利用吸气剂对气体的化学吸附来捕集气体实现抽气的。所用吸气剂有蒸散型的(如钛)和非蒸散型的(如锆—铝合金)两类。 钛升华泵在真空下用电子轰击或其他加热方式(如辐射)使钛材(钛—钼合金、钛棒、钛球)升温到1200—1500°C，升华出的钛蒸气在温度较低的泵壁内表面冷凝，不断形成新鲜的活性膜层，将被抽气体相继吸附。活性气体与钛膜结合成钛的氧化物、氮化物、碳化物等，惰性气体如Ar、He 等，主要是被“掩埋”在膜层中。 */* 真空泵 （9)离子泵 常用的是溅射离子泵，又称潘宁泵或冷钛泵。 它利用在很低压力下，仍能自持地放电，即所谓潘宁(Penning FM) 放电作用，让电子在正交电磁场作用下往复螺旋振荡，与气体分子不断碰撞时使气