思考题 (1)如何利用X射线进行物相的定性分析? (2)X射线物相分析有何特点? (3)简述透射电镜电子图像三种成像原理。 (4)简述扫描电镜的成像原理。 (5)透射电镜和扫描电镜有什么相同和不同 之处,各自主要应用在何种目的、所得何种结果? (6)电子探针所分析的元素范围一般从硼(B)——铀(U),为什么不能分析轻元素(氢、氦、锂和铍) 扫描电镜显微分析、电子探针 概述 电子探针是电子探针X 射线显微分析仪的简称,英文缩写为EPMA 或EMA (Electronprobe X-ray microanalyser),扫描电子显微境英文缩写为SEM(Scanning ElectronMicroscope)。这两种仪器是分别发展起来的,但现在的EPMA 都具有SEM 的图像观察、分析功能,SEM也具有EPMA的成分分析功能,这两种仪器的基本构造、分析原理及功能日趋相同。特别是现代能谱仪,英文缩写为EDS(Energy Dispersive Spectrometer),也有人写为EDX(Energy Dispersive X-ray Spectrometer)。EDS与SEM组合时,不但可以进行较准确的成分分析,而且一般都具有很强的图像分析和图像处理功能。由于EDS 分析速度快等特点,现在EPMA 通常也与EDS 组合 电子与固体试样的交互作用 各种信息的作用深度 二次
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