微切削技术剖析.ppt

目录 引言 种类划分 微切削技术 技术关键 微切削机理 引言 微机电系统最早是上世纪60年代对集成电路制造与材料研究而衍生出来的一门新领域，因此在最初发展时都是依照集成电路的套路标准来进行的。 随着微机电系统和微机械的多样化发展，传统上符合集成电路制造要求的材料有其局限性，对于拥有不同机械性能与电子特性微元件的需求也越来越迫切。 引言 然而对于微机电系统或微机械上的元件，并不能完全利用集成电路技术生产出来，因此新的微制造技术及微切削技术陆续被研究出来得以发展。 种类划分 微切削技术 微切削是一种快速且低成本的微小零件机械加工方式，而且不受材料的限制。 使用CNC加工中心可实现2D、2.5D到3D复杂曲面零件的微加工。 通过微切削技术加工出的微小模具可达到批量生产的目的。 技术关键 微切削加工技术的技术关键： 微切削装备 刀具 微切削装备 零件的尺寸和加工质量与其加工机床的性能密切相关。机床的性能主要与主轴、工作台和控制系统有关，微切削所用刀具的直径非常小，为了提高加工效率，微切削机床主轴的转速非常快。为满足扭矩要求，通常采用电主轴和混合角接触轴承，这种轴承由于摩擦生热造成热膨胀，转速一般不超过6万r/min。转速更高时，应采用空气轴承，但空气轴承提供的扭矩较小，目前最高转速可达20万r/min。 微切削装备 为了获得较高的切削速度，主轴的锥度与高速切削刀柄的