声表面波传感技术ppt.pptVIP

* * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * 3. 压电介质中的Christofel方程 各种SAW问题的解都是从上述公式出发，结合各个问题的对称性和边界条件来求得。 * 4. 声表面波特性的理论分析（258） 声表面波特性的理论分析就是根据给定的材料常数（包括弹性常数、压电常数、介电常数、密度、热膨胀系数及其相应的一阶和二阶温度系数常数）按Christofel方程和边界条件来计算某个切向条件下的声表面波速度(包括自由化表面和金属化表面)、机电耦合系数（K2）、能流角（PFA）、延时温度系数（TCD）等特性参数，这是进行SAW器件设计的基础和出发点。 * * 8.4 声表面波传感器技术 工作原理： 利用外界物理量（如温度、压力等）的变化引起声表面波的传播特性发生变化的原理来敏感被测量。 结构型式 * SAW传感器一般采用振荡器电路形式，其中SAW振荡器是传感器的核心。SAW传感器的基本工作原理就是利用了SAW振荡器这一频控元件受各种物理、化学和生物量的作用而引起振荡频率的变化，通过精确测量振荡频率的变化，从而实现检测上述物理量及化学量变化的目的。 移相器 匹配网络 SAW振