第四章薄膜材料的表征方法修改ppt.ppt

第四章 薄膜材料的表征方法 薄膜材料在应用之前，对其表征是很重要的，薄膜表征的方法很多，主要包括如下几方面： （1）薄膜厚度的测量； （2）薄膜形貌和结构的表征； （3）薄膜成分分析和化学结合态分析； （4）薄膜附着力的测量。 根据薄膜的不同，其测量方法多种多样。薄膜厚度的测量方法主要有光学测量法和机械测量法两种。 研究结构的衍射方法包括X射线衍射、电子衍射、反射高能电子衍射、低能电子衍射、氦原子散射等。 观察显微图像的方法有：透射电子显微术、反射电子显微术、低能电子显微术。 材料组分分析方法主要有电子束激发的X射线能谱、俄歇电子能谱、光电子能谱、二次离子质谱(SIMS)、离子束的卢瑟福背散射谱等。表面成分分析内容包括测定表面的元素组成、表面元素的化学态及元素沿表面横向分布和纵向分布等。 4.1 薄膜厚度的测量 对于薄膜，膜厚是重要的参数，在一定程度决定着薄膜的力学性能、电磁性能、光电性能以及光学性能。因而准确地测量薄膜的厚度在制膜工艺中起着关键性的作用。 根据薄膜的不同，其测量方法多种多样。薄膜厚度的测量方法主要有光学测量法和机械测量法两种。 光学测量法不仅可以测量透明薄膜, 还可以测量不透明的薄膜; 不仅使用方便, 而且测量精度较高, 因此得到广泛的应用。 机械测量法中应用最广的是表面台阶测试仪（profiler）, 它是通过在复合薄膜的各个层之间制备台阶, 探针通过在