《材料现代分析技术》实验指导书资料.docVIP

实验一 扫描电镜在材料表面形貌观察及成分分析中的应用 一、实验目的 1）了解扫描电镜的基本结构和工作原理，掌握扫描电镜的功能和用途； 2）了解能谱仪的基本结构、原理和用途； 3）了解扫描电镜对样品的要求以及如何制备样品。 二、实验原理 （一） 扫描电镜的工作原理和结构 1. 扫描电镜的工作原理 工作原理：扫描电子显微镜利用聚焦得非常细的高能电子束在试样上扫描电子束与样品的相互作用 二次电子被入射电子轰击出来的核外电子俄歇电子如果原子内层电子能级跃迁过程中释放出来的能量不是以X射线的形式释放而是用该能量将核外另一电子打出，脱离原子变为二次电子，这种二次电子叫做俄歇电子扫描电镜由电子光学系统，信号收集及显示系统，真空系统及电源系统组成。电子光学系统 a) 电子枪 电磁透镜 扫描线圈 样品室 信号系统 3）真空系统和电源系统 （四）扫描电镜和能谱仪的功能和用途 本实验使用的仪器是日本理学D/max-2500 X射线衍射仪。X射线衍射仪主要由X射线发生器（X射线管）、测角仪、X射线探测器、计算机控制处理系统等组成。衍射仪的结构如下图所示。 1.X射线管 X射线管主要分密闭式和可拆卸式两种。广泛使用的是密闭式, 由阴极灯丝、阳极、聚焦罩等组成, 功率大部分在 1～2千瓦。可拆卸式X射线管又称旋转阳极靶,其功率比密闭式大许多倍, 一般为 12～60千瓦。常用的X射线靶材有 W