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材料结构分析综合实验 实验23：原子力显微镜分析 一、实验目的 1. 了解原子力显微镜的工作原理及工作特点； 2. 了解原子力显微镜在材料科学中的应用； 3. 实验步骤 3.1 样品制备 3.2 安装探针，扫描器 3.3 安装样品并调试激光位置，参数设置 3.4 图像扫描 4.实验报告要求 4.1 实验目的 4.2 原子力显微镜工作原理，特点，原子力显微镜应用； 4.3 实验内容 磁控溅射ZnO,镀锌薄膜表面形貌观察； * * 2.1 原子力显微镜特点 2. 成像原理 将一个对微弱力及其敏感的长为100-200微米 的Si或Si3N4材料的微悬臂一端固定，另一端 有一个针尖，针尖与样品表面轻轻接触，针 尖尖端原子与样品表面原子间的及其微弱的 作用力，使微悬臂发生弯曲，通过检测微悬 臂背面反射出的红色激光光点在一个光学检 测器上的位置的变化可以转换成力的变化 （被反射激光点位置变化或是微悬臂梁弯 曲的变化与力的变化成正比），通过控制 针尖在扫描过程中作用力的恒定同时测量 针尖纵向的位移量，从而最终还原出样品 表面的形貌像。 2.2 原子力显微镜工作原理 表面形貌和材料如何测量