激光损伤阈值测试系统.docVIP

激光损伤阈值测试系统 一、基本概念 损伤－由激光辐射引起的能够探测（或观察）到的光学表面（或膜系）特征的永久性 变化。 损伤阈值－可引起光学表面（或膜系）损伤几率为0的最大激光辐射能量密度或功率 密度。 1对1－激光束辐射在光学表面（或膜系）的某测试点只照射一次的测试。 N对1－激光束辐射在光学表面（或膜系）的同一测试点照射N次的测试。 试样－用于进行损伤测试的样品。试样可以是实际的光学零件，也可以是试样片。 试样片－与实际光学零件同等材料、同等光洁度、同罩镀制光学薄膜的测试样片。 损伤几率－同一激光能量下测试10个点，可探测到的损伤个数除以10。 二、测试原理 用能量和分布已知的激光光源照射被测试样的不同点1次（或N次），探测光学表面是否发生损伤，改变激光辐射能量，改变试样辐射点的位置，辐射激光，探测损伤，直至找到损伤几率从0.0-1.0的激光辐射能量范围，绘制出以激光能量为横轴，损伤几率为纵轴的关系曲线，经过回归计算得到激光能量与损伤几率的线性关系直线，该直线与能量轴的交点所代表的激光辐射能量即为损伤阈值。 如下图： 三、系统组成 由测试原理可知激光损伤阈值测试系统由以下部件组成： 激光辐射光源系统：用于产生足够能量的激光辐射源，照射被测光学表面，使光学表面产生损伤。 波片：获得偏振激光（可选）。 激光扩束准直光学系统：用于扩束准直，同时，降低激光功率密度防止损伤其后的