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扫描电子显微镜 (Scanning Electron Microscope) 摘要：扫描电子显微镜(简称扫描电镜,英文缩写为SEM)是一种大型的分析仪器,广泛应用在材料科学、生命科学、物理学、化学等学科领域。近年来在扫描电镜上相继安装了许多专用附件,如:能谱仪(EDX)、波谱仪(WDX)、电子衍射仪(ED)等,使扫描电镜成为一种多功能的、快速、直观、综合的表面分析仪器。 关键字：SEM； 原理； 应用； 1.扫描电子显微镜简介 扫描电子显微镜(简称扫描电镜,英文缩写为SEM)是一种大型的分析仪器,广泛应用在材料科学、生命科学、物理学、化学等学科领域。近年来在扫描电镜上相继安装了许多专用附件,如:能谱仪(EDX)、波谱仪(WDX)、电子衍射仪(ED)等,使扫描电镜成为一种多功能的、快速、直观、综合的表面分析仪器[1]。扫描电子显微镜的制造是依据电子与物质的相互作用。当一束高能的入射电子轰击物质表面时，被激发的区域将产生二次电子、 HYPERLINK javascript:linkredwin(俄歇电子); \o 俄歇电子 俄歇电子、 HYPERLINK /wiki/%E7%89%B9%E5%BE%81 \o 特征 特征x射线和连续谱X射线、 HYPERLINK /wiki/%E8%83%8C%E6%95%A3%E5%B0%84%E7%94%B5%E5%AD%90 \o 背散射电子 背散射电子、 HYPERLINK javascript:linkredwin(透射电子); \o 透射电子 透射电子，以及在可见、 HYPERLINK javascript:linkredwin(紫外); \o 紫外 紫外、 HYPERLINK javascript:linkredwin(红外光); \o 红外光 红外光区域产生的电磁辐射。同时，也可产生电子-空穴对、 HYPERLINK javascript:linkredwin(晶格振动); \o 晶格振动 晶格振动 (声子)、 HYPERLINK /wiki/%E7%94%B5%E5%AD%90%E6%8C%AF%E8%8D%A1 \o 电子振荡 电子振荡 (等 HYPERLINK javascript:linkredwin(离子体); \o 离子体 离子体)。原则上讲，利用电子和物质的相互作用，可以获取被测样品本身的各种物理、化学性质的信息，如形貌、组成、晶体结构、电子结构和内部电场或磁场等等。扫描电子显微镜正是根据上述不同信息产生的机理，采用不同的信息检测器，使选择检测得以实现。如对二次电子、背散射电子的采集，可得到有关物质微观形貌的信息;对 HYPERLINK /wiki/x%E5%B0%84%E7%BA%BF \o x射线 x射线的采集，可得到物质化学成分的信息。正因如此，根据不同需求，可制造出功能配置不同的扫描电子显微镜[1]。 扫描电子显微镜有真空系统，电子束系统以及成像系统三大系统组成。 2.扫描电子显微镜的工作原理 扫描电镜是用聚焦电子束在试样表面逐点扫描成像。试样为块状或粉末颗 粒，成像信号可以是二次电子、背散射电子或吸收电子。其中二次电子是最主要 的成像信号。由电子枪发射的能量为 5 ～ 35keV 的电子，以其交 叉斑作为电子源，经二级聚光镜及物镜的缩小形成具有一定能量、一定束流强度 和束斑直径的微细电子束，在扫描线圈驱动下，于试样表面按一定时间、空间顺 序作栅网式扫描。聚焦电子束与试样相互作用，产生二次电子发射（以及其它物 理信号），二次电子发射量随试样表面形貌而变化。二次电子信号被探测器收集 转换成电讯号，经视频放大后输入到显像管栅极，调制与入射电子束同步扫描的 显像管亮度，得到反映试样表面形貌的二次电子像[2]。 3.扫描电子显微镜的优点 1）制样方法简单。 对表面清洁的导电材料可直接进行观察;表面清洁的非导电材料只要在表面蒸镀一层导电层即可观察。 2）场深大，三百倍于光学显微镜。 适用于粗糙表面和断口，甚至孔洞缝隙中细微情况的观察。图像富有立体感，、易于识别和解释。 3）放大倍数在15一200000倍范围内连续可调，分辨率高，能达到3一6nm。 4）可进行多功能分析。 采用双放大倍数装置或图像选择器，可在荧光屏上同时观察不同放大倍数或不同形式的图像。可使用加热、冷却和拉伸等样品台进行动态实验，观察各种环境条件下的相变及形态变化等[3]。 4.扫描电子显微镜与其他设备的组合以实现多种分析功能 在实际分析工作中,往往在获得形貌放大像后 ,希望能在同一台仪器上进行原位化学成分或晶体结构分析 ,提供包括形貌、成分、晶体结构或位向在内的丰富资料 ,以便能够更全面、客观地进行判断分析。为了适应不同分析目的的要求