大尺寸产品烧结程序(富氧) 钟罩炉的烧结曲线(大产品) 设定温度(℃) 设定时间(小时) 温升(℃/Hr) 设定(O2%) 1 10-150 9.3 15 21 2 150-300 12.3 12.2 21 3 300-400 6 16.7 21 4 400-500 5 20 21 5 500-700 3.3 60.6 21 6 700-900 3 66.7 18 7 900-1100 2 100 15 8 1100-1300 2 100 10 9 1330-1350 1 20 8 10 1350-1350 6 0 6 11 1350-1000 4h-3 -87.5 12 1000 自由降温 1350℃/6Hr b=7.9-8.1 Top O2:10% 超大尺寸(高表面电阻率承受大电流)产品烧结程序 钟罩窑的烧结曲线(特大产品) 设定温度(℃) 设定时间(小时) 温升(℃/Hr) 设定(O2%) 初始温度 2 0 21 ——150 12 10 21 1 150-150 1 0 21 2 150-200 15 3.33 21 3 200-200 1 0 21 4 200-300 20 5 21 5 300-300 1.5 0 21 6 300-400 20 5 21 7 400-400 1.5 0 21 8 400-600 10 20 21 9 600-600
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