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? 2008 Nokia V1-Filename.ppt / YYYY-MM-DD / Initials 净房培训材料 2009年9月10日 版本 1.1供应商训练 Brian Yates 受训议程 1. 污染物解释 污染物解释 什么是污染物? 任何不应该存在或没指定作为产品一部分的. 是不受欢迎的并且有对产品或过程恶劣效果的杂质. 不洁或不纯的状态的结果。 空气是无形的，只有当他们成为反射光并含有杂质（例如太阳或投影）。 污染物解释 用微米单位测量杂质的分类。一微米为一毫米的千分之一。 不同行业所关注的不同程度的污染水平。 半导体（晶圆制造）：感兴趣的是粒子 0.01微米为了使电路板上存在电子痕迹。不想短路。 医疗植入物：兴趣上粒子 0.2微米的颗粒，由于能够阻止血管。 电视/液晶显示器和医院：在粒子 0.5μm，可能造成伤害/不适的产品。 球轴承和机械部件：在粒子 5.0μm造成机械或视觉缺陷。 视觉下 5μm 杂质 2. 净房环境 3方法来控制颗粒: 消除现有的生产环境颗粒 阻止或限制进入生产环境的新粒子 防止制造过程中产生的新粒子 因此，要清除这些颗粒，我们需要一个洁净环境 HEPA（高效空气微粒）过滤器 污染测量标准 指定视觉污染物: ISO 14644 标准 官方标准发布1999年5月1日 3个强制性检验: 磁粉探伤 气流（量每小时汇率）。 总气流=Σ(速率 x 过滤面积). Ex:12000m3/hour 相邻房间压力差 推荐：温湿度监控 微粒监测仪 尘埃粒子检测方法 取样位置积分通过 √ā（用于认证的）核算。 其中，A是净房平方米。例如：房间是80米2? 需要检测9个地点。 如果使用取样管，长度应小于一米并且尽可能直 测量高度从地面：1到5米。 （工作台高） 最小距离任何表面：1米。 真空喷嘴方向向上：?90? (?30?). 初步测量前延迟：1分钟 3-5每个地点的测量样品。 样本大小：容量 最小样品体积空气（升） Vs=20,000/最大允许每立方米微粒在层次 最小样本量 2升空气 ~ 0.1ft3. 相当于最低采样一分钟0.1cfm/每机ISO 14644-1 例如：对于第7类和5.0μ或更大的颗粒： Vs=20000/2930=7 Liters(0.25ft3). 因此，如果需要使用0.1cfm机抽样空气?3分钟 例如：对于第8类和5.0μ或更大的颗粒： Vs=20000/29300=1 Liters but use 2liters(since min) 因此，如果使用0.1cfm机需要抽样空气1分钟 例如：第7类和0.5μ或更大的颗粒： Vs=20000/352,000=.06 Liters but use 2liters(since min) 因此，如果使用0.1cfm机需要抽样空气1分钟 颗粒检验要求 报告 应该报告0.5?m 和5?m 两者颗粒 平均计数报告（每个检查点，工艺台，及完整的房间）。 粒子计数正常化需要取决于你是在每立方米、英尺寻找颗粒 例如: 你在使用0.1cfm机1分钟测试100颗粒…这样规范化的数据会告诉你，你确实有 ~1000 颗粒/每立方英尺. 机器通常自动有一个操作设置。 注意: 大颗粒量主要取决于在接近空气逆流处。至少 3m “安静的距离（无变动），必须保持测量表在各地得到在相同的条件下一个可复验性的结果。尘埃粒子计数器，需要最低28l/min（1cfm）样本检测尺寸（超过5?m）大颗粒才有合理的准确性。 粒子计数器的使用范例 第二测试：房间空气交换速度 空气流动=气流速度x空气过滤器表面区域 高效粒子空气过滤器大小: 0.6m x 1.21m. 面积 = .726m2 使用风速计 过滤器表面风速。 使用中等风机，你应该有27m/min速度 Air Flow = 27m/min x .726m2 = 19.6m3/min or 1176m3/hr 总气流=Σ每个高效排气（速度x过滤面积）。 例如：让说有10个通风口的天花板，它们都具有相同的流量。因此，要完全空气被抽进了房间为11760立方米/小时。房间面积：10x8x3米。容量：240米3 因此，我每小时变换 11,760/240 = 49 . 推荐的气体流通 每个出气孔气流容量 m 3 /hr 第三测试：地区之间的压降 风淋门 最佳湿度水平区 干燥是空气干燥的原因，皮肤粗糙和片状，因为皮肤的外层失去水分，周围的空气湿度低于40％的空气太干燥，静电可引致污染部件 如果湿度过高，空气中尘螨和真菌/发霉会激增，加重，喷漆应用无法执行准确。 温湿度关系 40％相对湿度指特定的温度空气充满着40％的水蒸气 更多的水蒸汽（湿度），可吸收空气中的温度升高。 例如，