第五章压电传感器.ppt

第5章 压电式传感器 3、常见压电陶瓷 ： （1）钛酸钡（BaTiO3）压电陶瓷 具有较高的压电系数和介电常数，机械强度不如石英。 （2）锆钛酸铅Pb（Zr·Ti）O3系压电陶瓷（PZT） 压电系数较高，各项机电参数随温度、时间等外界条件的 变化小，在锆钛酸铅的基方中添加一两种微量元素，可以获得不 同性能的PZT材料。 （3）铌镁酸铅Pb(MgNb)O3-PbTiO3-PbZrO3压电陶瓷（PMN） 具有较高的压电系数，在压力大至700kg/cm2仍能继续工 作，可作为高温下的力传感器。 4、新型压电材料 压电半导体 包括硫化锌、碲化镉、氧化锌、硫化镉 既具有压电特性，又具有半导体特性。 有机高分子压电材料 一类是高分子聚合物 聚偏氟乙烯(PVF2)、聚氯乙烯(PVC)、聚氟乙烯 优点：质地柔软，抗拉强度高，耐冲击 另一类是高分子化合物中掺杂钛酸钡(BaTiO3) 1. 石英晶体的结构 q —— 电荷量； d33 —— 压电陶瓷的压电系数； F —— 作用力。 5. 2 等效电路及测量电路 1. 压电元件的连接方式 2. 压电元件的等效电路 3. 压电式传感器的测量电路 将高分子压电测振薄膜粘贴在玻璃上，可以感受到玻璃破碎时会发出的振动，并将电压信号传送给集中报警系统。 2. 电荷放大器 用电压放大器作为前置变换电路使得输出U不仅与电荷量有关，还与连接电缆等分布参数如CC有关，所以系统的互换性不好，采用电荷放大器就可以较好地解决这个问题。 电荷放大器实际上是一个具有深度负反馈的高增益运算放大器。 电荷放大器等效电路 电荷放大器常作为压电传感器的输入电路，由一个反馈电容CF和高增益运算放大器构成。由于运算放大器输入阻抗极高，放大器输入端几乎没有分流，故可略去Ra和Ri并联电阻。 由运算放大器基本特性， 可求出电荷放大器的输出电压 通常A=104-108，因此,当满足(1+A)CfCa+Cc+Ci时，上式可表示为 由上式知，电荷放大器的输出电压Uo只取决于输入电荷与反馈电容CF，与电缆电容Cc无关，且与q成正比，因此，采用电荷放大器时，即使连接电缆长度在百米以上，其灵敏度也无明显变化，这是电荷放大器的最大特点。在实际电路中，CF的容量做成可选择的，范围一般为100-104pF。 5.3 压电式传感器的应用 压电式单向测力传感器的结构图，主要由石英晶片、 绝缘套、电极、上盖及基座等组成。 压力式单向测力传感器结构图 压电式测力传感器 传感器上盖为传力元件，它的外缘壁厚为0.1-0.5mm，当外力作用时，它将产生弹性变形，将力传递到石英晶片上。石英晶片采用xy切型， 利用其纵向压电效应，通过d11实现力—电转换。石英晶片的尺寸为φ8×1mm。该传感器的测力范围为0-5000N，最小分辨率为0.01 N，固有频率为50-60 kHz，整个传感器重为10 g。 典型应用：机床动态切削力的测量。 压电式刀具切削力测量示意图 图是一种压电式加速度传感器的结构图。它主要由压电元件、质量块、预压弹簧、基座及外壳等组成。整个部件装在外壳内，并由螺栓加以固定。 压电式加速度传感器结构图 压电式加速度传感器 当加速度传感器和被测物一起受到冲击振动时，压电元件受质量块惯性力的作用， F=ma 式中：F—质量块产生的惯性力;m—质量块的质量 a——加速度。 此时惯性力F作用于压电元件上，因而产生电荷q，当传感器选定后，m为常数，则传感器输出电荷为 q=d11F=d11ma 与加速度a成正比。因此，测得加速度传感器输出的电荷便可知加速度的大小。 粘贴位置 使用时，用瞬干胶将其粘贴在玻璃上。当玻璃遭暴力打碎的瞬间，压电薄膜感受到剧烈振动，表面产生电荷Q ，在两个输出引脚之间产生窄脉冲报警信号。 压电式玻璃破碎报警器 压电式压力传感器 引线 壳体 基座 压电晶片 受压膜片 导电片 p 压电式测压传感器 反之，若沿y方向对晶片施加电场，根据逆压电效应，晶片在y轴方向将产生伸缩变形，即 或用相对应变表示： Fx (b) x + + + + + - - - - - + + + + + (a) Fx x - - - - - x Fy (c) + + + + + - - - - - Fy (d) x + + + + + - - -