薄膜真空技术讲课.pptVIP

电离真空计（Ionization Gauge） （a）内部结构 （b）工作原理示意图 工作原理：利用气体分子与振荡电子的碰撞电离作用测得气压 ！ 1）电子的振荡与捕获：①热电子发射 ? ②加速飞向栅极 ? ③部分被捕获 ? ④漏网飞离栅极 ?  ⑤反向减速再反向加速飞回栅极 ? ⑥再捕获 ? 漏网逃离栅极 ?  ? 重复以上过程 2）气体分子碰撞电离：电子往复振荡与气体分子不断碰撞使之发生电离，电离产生的二次电子继续 加入振荡-捕获过程，而气体离子则飞向离子收集极形成回路电流，且满足： Ie — 灯丝电流；S — 常数。 3）获得相对气压测值：灯丝电流 Ie 一定时，就可由离子电流 I+ 的大小测得气压 P。 真空的测量 电离真空计（Ionization Gauge） （a）S-P型 工作上下限问题及分类：高低真空端不同 ！ 1）下限（高真空端）：需要解决软X射线问题。 问题：栅极被高能电子轰击发射出的软X射线会进一步 轰击离子收集极，使之发射光电子并在离子收集 极上形成微弱的等效离子电流 ix（光电效应），  收集极电流 IC 实际上由 I+ 和 ix 两部分组成： 普通三极型电离真空计 ix 的量级与真空度为10-6~10-7 Pa时的I+ 相当，因此其工作下限一般为10-6 Pa！ 解决方法：离子收集极尺寸最小化 ? 针状 ? ?受软X射线轰击的面积（几率） ? ? ix 的数量级 （与真空度为10-8~10-9 Pa时的 I+ 相当） 此类改进工作下限的电离真空计由Bayard和Alpert提出，被称为B-A型，其工作下限可低至10-8 Pa！ （b）B-A型 真空的测量 1 真空技术基础 1.3 真空的测量 1.3.3 电离真空计（Ionization Gauge） （a）S-P型 工作上下限问题及分类：高低真空端不同 ！ 2）上限（低真空端）：解决饱和电离的非线性问题。 问题：P 10-1 Pa时，气体分子数??  ? 电子与气体分子的碰撞几率? 同时电子能量?、自由程?? ? 气体电离趋于饱和 ? IC ? P 的线性关系不再成立！ 因此，普通电离真空计的工作上限为10-1 Pa。 解决方法：1）大幅度降低电极间间隔（~3 mm）； 2）提高灯丝（发射极）电位到+45 V， 同时提高离子收集极电位到 0 V。 此类改进工作上限的电离真空计由Schulz和Phelps提出，被称为S-P型，其工作上限可提高到10 Pa，但同时由于强化了前述的软X射线导致的光电效应，工作下限也相应提高到10-2 Pa！ （b）B-A型 电离真空计（Ionization Gauge） 小结： 1）电离真空计的工作范围： 普通三极型：10-6~10-1 Pa； B-A型：10-8~10-1 Pa（高真空适用）； S-P型：10-2~10 Pa（低真空适用） 2）特 点： ①可快速、连续测量； ②不适于低真空测量（改进的S-P型也要求 P 10 Pa）； ③测量结果与气体种类有关； ④需要定期除气处理。 真空的测量 为了消除真空规本身放气对高真空度时测量值的影响，在使用电离真空规之前需要将其加热至稍高的温度进行预先烘烤，以减少测量时放气的影响。 不得在大气环境下工作 实用真空系统 * * * * * * 抽速快，要求入口很粗 * * * * * * * * 操作步骤 * * * * * * * * * 真空设备 为什么镀膜需要真空环境？ 膜料 基板 液态 气态 物理气相淀积(PVD, physical vapor deposition)