第二章UWB信号源产生研讨.ppt

电场分布 开关尺寸 电极分布方式 表面爬电 电场分布 C PCSS金属电极设计的仿真计算 2.5 光导开关耐高温欧姆电极研制 2.5.1 实验研制几种典型欧姆电极的优缺点 (1) Ge/Ni/ Au金属化系统欧姆电极 优点 它能提供很低的接触电阻； 在工艺上(如沉积工艺等)可与Si器件兼容； 工艺成熟，造价低廉； 缺点 在高温或高功率状态；电极合金体系常发生横向和纵向扩散 形成尖峰，形貌不平整； 电极金属与衬底基片的互扩散导致接触电阻增大，欧姆接触 特性严重退化 (2) Pd/Ge/Ti/Pt/Au金属系统欧姆电极 优点 接触电阻下限可以达到4.9×10-7 ?.cm2； 在300 ?C、20 h退火情况下，金属接触和GaAs之间的分界面 非常陡峭平直 ；在400 ?C 、35 miu退火情况下，热稳定性开 始变差；可能是Ge发生转移或电极金属层之间发生了反应； 金属层的相互作用很少，界面的形貌比较好，无尖峰，侧面 为薄层状，横向同性，表面光滑 优点 金属系统和n-GaAs的接触阻抗随着温度升高增加很快； 金属系统不能很好的附着在GaAs表面；Pt需要很大热量才会 有合适的沉积率 2.5.2 欧姆电极研制过程中常出现的工艺问题 (1) 电极导电层与