2.等离子体热扩渗技术研究.ppt

等离子体热扩渗技术 刘瑞良 liuruiliang@hrbeu.edu.cn 等离子体概述 等离子体是物质第四态 宇宙中90％物质处于等离子体态 人类的生存伴随着水，水存在的环境是地球文明得以进化、发展的的热力学环境，这种环境远离等离子体物态普遍存在的状态。因而，天然等离子体就只能存在于远离人群的地方，以闪电、极光的形式为人们所敬畏、所赞叹。 由地球表面向外，等离子体是几乎所有可见物质的存在形式，大气外侧的电离层、日地空间的太阳风、太阳日冕、太阳内部、星际空间、星云及星团，毫无例外的都是等离子体。 地球上，人造的等离子体也越来越多地出现在我们的周围。 日常生活中：日光灯、电弧、等离子体显示屏、臭氧发生器 典型的工业应用：等离子体刻蚀、镀膜、表面改性、喷涂、烧结、冶炼、加热、有害物处理 高技术应用：托卡马克、惯性约束聚变、氢弹、高功率微波器件、离子源、强流束、飞行器鞘套与尾迹 等离子体参数空间 等离子体分类 电离气体是一种常见的等离子体 放电是使气体转变成等离子体的一种常见形式等离子体 ? 电离气体 冷等离子体应用 等离子体的化学过程 刻蚀 化学气相沉积（成膜） 等离子体材料处理 表面改性 表面冶金 光源 冷光源（节能） 热等离子体应用 高温加热 冶金、焊接、切割 材料合成、加工 陶瓷烧结、喷涂、三废处理 光源 强光源 等离子体军事及高技术应用 军事应用 等离子体天线、等离子体隐身、等离子体减阻、等离子体鞘套、等离子体诱饵 高技术 大功率微波器件、X射线激光、强流束技术、等离子体推进 低温冷等离子体形成方法 真空条件下直流辉光放电 真空条件下的射频辉光放电 真空条件下的微波等离子体 电晕放电 大气等离子体炬 大气条件下的介质层放电 真空条件下的直流辉光放电等离子体 最简单的直流放电管的结构如图所示。 直流辉光放电区结构 空心阴极辉光放电 射频辉光放电 微波等离子体 电晕放电 等离子体炬 电介质层放电 低温热等离子体形成方法 气体电弧等离子体 金属电弧等离子体 激光等离子体 气体电弧等离子体 真空金属电弧等离子体 激光等离子体 Have a rest! 一、热扩渗相关概念 金属（主要是钢）放在有一定活性的介质（气相、液相或固相）中加热，利用欲渗元素原子的扩散性能，使金属或非金属元素（C、N、B、Al、V等）渗入钢的内部，改变钢表面的化学成分，形成新的合金渗层的热处理工艺。 （注：表面淬火指改变表层的组织） 主要包括： 渗氮（氮化） 渗碳 氮碳共渗（氰化） 碳氮共渗 渗硼 渗铝等 二、基本过程 1、分解 例如： 气体渗氮时常采用氨气分解： 2NH3 →3H2+ 2[N] 渗碳过程的基本反应（可加入催化剂）： Na2CO3 →Na2O + CO2 BaCO3 →BaO+ CO2 CO2 + C →2CO 2CO→CO2 + [C] 2、吸附 主要发生在表面的缺陷处，如：钢的表面上存在大量的位错和晶界，为活性原子的渗入提供了方便的通道。 3、扩散 表面与内部存在着浓度差，要发生原子迁移现象，被渗元素的原子由浓度高处向低处迁移，发生扩散现象。 纯扩散，可在母相金属中形成无限固溶体（间隙、置换固溶体） (1) 温度影响 D = D0 e -Q/RT D0为扩散常数，R为气体常数，T为热力学温度， Q为扩散激活能 (2) 浓度的影响，在渗碳及碳氮共渗时，可采用强渗工艺 (3) 晶格类型的影响，C、N原子在体心立方的α-Fe中的扩散系数比在面心立方的γ-Fe中大 (4) 固溶体类型的影响（扩散激活能小） (5) 固溶体中第三元素的影响 (6) 晶粒界面的影响（缺陷） (7) 形变与应力的影响 常见热扩渗处理件性能比较 渗碳：提高表面硬度、耐磨性和疲劳强度。 氮化：提高表面硬度、耐磨性、疲劳强度和耐蚀性。 氰化：提高表面硬度、耐磨性和疲劳强度。 渗硼：提高表面硬度、耐磨性和耐蚀性。 渗硫：提高表面减磨性和抗咬合性。 渗铝：提高表面抗氧化性。 渗铬：提高表面抗氧化性、耐蚀 性和耐磨性。 渗硅：提高表面硬度、耐蚀性及抗氧化性。 渗锌：提高表面抗大气腐蚀性力。 典型热扩渗技术介绍 将钢件在碳的活性介质中加热并保温，使碳原子渗入表层的一种表面化学热处理工艺。 工艺流程：锻造→正火→切削加工→渗碳→淬火+低温回火→精加工 渗碳剂： CO或CH4 ，化学分解出[C] 影响因素： （1）渗碳温度越高，渗层越厚，表面碳含量越高。 （2）保温时间 技术要求： （1）表