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衍射和球差限制的分辩率 D = 2fa ? 物镜光阑的大小不能随意选取, 只有在最佳 尺寸时才能得到最高的分辩率 ! 相位衬度传递函数(Phase contrast transfer function) 我们定义: 而 sin? 叫作相位衬度传递函数(PCTF) Let u = a / l (u = 1/ a), 则有: 当 Sin?(u) = -1时可得到最佳衬度效应。 D = 2fa 点分辩率(Point to point resolution) 线分辩率(Line to line resolution) 最佳欠佳量(Optimum defocus): k = 1,2,3,4,……... 相位衬度( phase contrast) : k 为奇数 振幅衬度: k 为偶数 高分辩电镜图像可提供的信息 图像模式 图像内容 可提供的信息 双束点阵 相应于点阵平面间距的条纹象 1) 面间距(必须使用内标) 平面象 第二相粒子分析 粒子/基体取向关系 成份分布 有序化和超点阵 界面和晶界 多束点阵象 与成象条件有关 除与1)相同外还有: 晶态—非晶态转变 相变 晶体缺陷结构 结构象 是晶体点阵沿入射束方向的投 表示晶体的真实结构 影,在相位衬度传递函数第一 晶体缺陷的原子结构 个零点范围内图像与实际晶体 晶体缺陷的原子缀饰 结构原子排列有一一对应关系 6. 分析电镜 6.1 分析电镜的能力 6.2 AEM 微区分析 6.3 EELS(不太成熟,应用不普遍) 优良SEM影像的拍摄要点 SEM的观察的主要过程是:①小倍率选区;②高倍率放大;③移动样品至适当位置,调焦;④调亮度和反差至最佳;⑤拍摄。1.聚光镜电流的选择聚光镜电流的大小将直接影响到电子束的亮度和光斑直径的大小,也影响成像的分辨率和反差。在保证足够的观察条件、拍摄的亮度和反差的需要下,应尽量使聚光镜电流稍为大一些,以获取较小的电子束流探针直径,得到较高分辨率;但聚光镜电流又不可太大,太大则使电子束流能量太低,信号与噪声的强度比(信噪比)下降,影像也会平淡无力,缺少立体感。故聚光镜电流的调节应和亮度与反差相配合。2.亮度和反差的调节既不可一味追求高亮度,也不可一味追求高反差。这两者要配合调节。高反差能增加立体感,但却损失了许多细节,所以在保证较好反差的情况下,要调出足够
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