方法11-透射电镜图象原理与资料.pptVIP

材料现代分析方法透射电镜成像原理与图像分析 河北工业大学　材料学院 孙继兵 E-mail: hbgdsjb@126.com Tel: 022-2658 2288 本章内容 第一节　透射电镜的衬度来源及分类 第二节 衍射衬度形成机理 第三节 衍衬运动学理论 第四节 不完整晶体衍衬像运动学解释 第一节　透射电镜的衬度来源及分类 透射电子像的衬度来源 透射电镜中的入射电子透射试样时，将与试样内部原子发生相互作用，从而改变其能量及运动方向。或者说 电子束透过试样所得到的透射电子束的强度及方向均发生变化，由于试样各部位的组织结构不同，因而透射到荧光屏上的各点强度是不均匀的，这种强度的不均匀分布现象就称为衬度，所获得的电子像称为透射电子衬度像。 透射电子束与衍射电子束发生相互作用会存在相位的变化，透射电子束的强度会由于样品厚度或结构不同（从而满足布拉格条件不同）而产生变化。 透射电子像的衬度分类 第二节 衍射衬度形成机理 衍射衬度是来源于晶体试样各部分满足布拉格反射条件不同和结构振幅的差异。 薄晶体样品受到电子束照射时，如果晶体中所有晶面都和布拉格条件有很大的偏差，那么入射电子束就可以全部透过样品，而无衍射束产生。此时透射束的强度可认为和入射电子束的强度相等，若用IT代表透射电子束的强度，I0代表入射电子束的强度，则IT=I0。这时，透射束通过电磁透镜组在荧光屏上成像，被放大的物象亮度很高。 或不加物镜光阑也有同样的效果。只有衍射指数较大的衍射束被镜筒挡镜而成像。 明场像 如果薄品体样品中有某些晶面符合或基本符合布拉格衍射条件，在结构因数不等于零的条件下，这些晶面就会产生衍射。若衍射束的总强度(即所有衍射晶面产生的衍射束强度之和)为ID，则透射束成像时(即在物镜后焦面上用物镜光阑孔套住透射束、挡住所有的衍射束)，荧光屏上的强度要减弱，因为此时透射束的强度应等于IT＝I0-ID，而ITI0。如果样品内部存在许多晶粒(或各种组成相)，在电子束照射下，有些晶粒不发生衍射(或衍射束总强度很低)，另一些晶粒则相反．可以想象在用透射束成象时，前者的亮度要比后者大。 这种由于样品中不同晶体(或同一种晶体不同位向)衍射条件不同而造成的衬度差别就叫做衍射衬度。 透射束通过而得到图象衬度的方法称为明场成像，所得的图象称为明场像 暗场像 如果我们把光阑孔向左移，使它的位置和衍射斑hkl重合，那末，由于透射束完全被光阑挡掉，A晶粒就显示不出亮度。 与之相反，此时B晶粒将由衍射束提供的强度IB＝Ihkl在象平面上成象。 这种用衍射束形成的电子显微图象叫做暗场像。 中心暗场像 由于衍射束远离透镜的主轴球差就会很大． 把入射电子束相对于衍射晶面倾斜2qB角。 倾斜操作可借助于显微镜内上下偏转线圈来完成。 此时衍射斑(副焦点) 　将移到透镜的中心位置。由于衍射束和透镜的主轴重合，球差大大减少。 因此中心暗场的图象比普通的暗场象清晰。 明场像与中心暗场像对比 举例 影响衍射强度的主要因素是：晶体取向和结构振幅。主要是晶体对电子的衍射。 1）衍射明场像中两个晶粒一明一暗，说明前者不处于布拉格位置；而后者处于布拉格位置； 2）晶体中的位错或其它缺陷的存在，致使局部晶格发生畸变，改变了这些部位的衍射条件，正常的周期性遭到破坏，使其与周围有不同的成像电子束强度而显示衬度； 3）基体中微区域元素的富集，使正常的晶面间距发生变化，也会改变局部区域的衍射条件，提供新的衬度； 4）两种不同物相，组成不同，对电子散射本领不同，结构振幅不同，引起衬度差别； 5）由于电子波长短，衍射角小，位错、层错、空位等的缺陷也会引起衍射条件的改变而显示衬度。 注意 问题 ① 只有晶体试样形成的衍衬像才存明场像与暗场像之分，其亮度是明暗反转的，即在明场下是亮线，在暗场下则为暗线，其条件是，此暗线确实是所选用的操作反射斑引起的。 ② 它不是表面形貌的直观反映，是入射电子束与晶体试样之间相互作用后的反映。 为了使衍衬像与晶体内部结构关系有机的联系起来，从而能够根据衍衬像来分析晶体内部的结构，探测晶体内部的缺陷，必须建立一套理论，这就是衍衬运动学理论和动力学理论。 第三节 衍衬运动学理论 衍衬衬度与布拉格衍射有关，衍射衬度的反差，实际上就是衍射强度的反映。因此，计算衬度实质就是计算衍射强度。 薄晶体电子显微图像的衬度可用运动学理论或动力学理论来解释。 按动力学理论，随着电子束深入样品，透射束和衍射束之间的能量是交替变换的。特点：考虑透射束和衍射束之间的相互作用，能更准确地解释薄晶体中的衍衬效应，但是这个理论数学推导繁琐，且物理模型抽象，在有限的篇幅内难以把它阐述清楚。 按运动学理论，电子束进入样品时随着深度增大，在不考虑吸收的条件下，透射束不断减弱，而衍射束不断加强。特点