传感器第6章介绍.ppt

放大器输入端的电压ui，其复数形式为 Ui的幅值Uim为 输入电压与作用力之间的相位差为 第二节 压等效电路与测量电路 当ω?∞时，放大器输入端电压幅值为 传感器的电压灵敏度为 结论：因电缆电容及放大器输入电容的存在，灵敏度减小。如果更换电缆，电缆电容变化，灵敏度变化。因此，如果要改变电缆长度，必须重新对灵敏度校正。 第二节 压等效电路与测量电路 ★相对幅频特性计算： 取 ，可求得其频率下限ωL为 式中τ——测量回路的时间常数， 第二节 压等效电路与测量电路 压电式传感器的特点分析： （1）高频响应好； （2）要扩展低频端，应使时间常数τ增大。但不能靠增加测量回路的电容，电阻的增加也是不容易的。 （3）电缆不能太长，但可设计成一体化传感器，即放大器置入传感器内部。 第二节 压等效电路与测量电路 若下限频率已选定，时间常数τ应满足下式 据此选择与配置各电阻电容值。 2、电荷放大器 电荷放大器是一个具有深度负反馈的 高增益放大器，其基本电路如图a所示，CF、RF为反馈电路参数。此处运用导纳运算。 CF、RF等效到A的输入端时，电容CF 和电导GF都增大(1＋A)倍。所以图中 第二节 压等效电路与测量电路 －A Ca Uo 图6-11a 基本电路图 i Ra Q CF RF Ui －A Ga C’F Uo Ui Q Ca Cc Ci Gi G’F 图6-11b 等效电路图 第二节 压等效电路与测量电路 若再考虑Cc、Ci、Ri，则电荷放大器的等效电路图如b所示。输 出电压 讨论： （1）当A足够大时,传感器本身的电容和电缆长短将不影响电荷放大器的输出。输出电压只决定于输入电荷Q及反馈回路的参数CF和RF。 第二节 压等效电路与测量电路 （2）当工作频率很高（即被测量为高频信号），由于GFωCF,则 可见输出电压Uo与A也无关，只取决于Q和CF。 （3）当工作频率很低(即被测量为低频信号），GF与ωCF相当，此时 第二节 压等效电路与测量电路 电压幅值为 上式表明：输出电压不仅与表面电荷Q有关，并且与参数CF、RF和ω有关，而与开环增益A无关。且ω越小，GF项越重要。当GF＝ωCF时，有 第二节 压等效电路与测量电路 可见这是截止频率点的输出电压，增益下降3dB时对应的下限截止频率为 电压Uo与电荷Q的相位差为 第二节 压等效电路与测量电路 小结： （1）低频时电荷放大器的频率响应仅决定于反馈电路参数RF和CF,其中CF的大小可以由所需要的电压输出幅度决定。所以当给定工作频带下限截止频率fL时,反馈电阻RF值也可确定。如当CF=1000pF,fL=0.16Hz时,则要求RF＞109Ω。 （2）电荷放大器工作频带上限取决于：运算放大器的频率响应；电缆长度（但影响较小）。 （3）电荷放大器允许使用很长电缆，且电容变化不影响灵敏度；但价格高，电路复杂，调整困难。 第二节 压等效电路与测量电路 特点：压电式传感器的高频响应好；若配备合适的电荷放大器，低频段可低至0.3Hz。常用来测量动态参数，如振动、加速度等。 一、压电式加速度传感器 1.单端中心压缩式 第三节 压电式传感器的应用举例 图6-13 压电加速度传感器结构原理图 a)单端中心压缩式 b)梁式 c)挑担式 1一质量块 2－晶片3—引线 4一底座 第六章 压电式传感器 2、梁式 特点：采用压电晶体弯曲变形方案，可测较小的加速度，灵敏度高，频率下限低。如地壳、建筑物的振动。 3、挑担剪切式 压电元件只承受剪切力，可以有效削弱瞬变温度引起的热释电效应。测量冲击和轻型板、小元件的振动。 第三节 压电式传感器的应用举例 二、压电式测力传感器 1、单向压电测力传感器 石英晶片：纵向压电效应；采用X零度切型（即晶片面与X轴垂直 的切割，或者说晶片厚度沿X轴方向，长度沿Y轴方向）；取电荷的电极为与X轴垂直的上下底面，晶片尺寸为Φ8×1毫米，许用压力15×105Pa；量程几kN－105 kN时，输出并联受力为串联型。 第三节 压电式传感器的应用举例 上盖（盖板）：传力元件，它的变形壁的厚度只有0.1～0.5毫米； 金属基座 绝缘环：聚四氟材料； 焊缝：电子束焊接。 第三节 压电式传感器的应用举例 图6-14 单向压电测力传感器结构示意图 2、三向压电测力传感器 基本结构同单向测力传感器； 压电元件由三对不同切型的石英片组成，中间一对由于具有纵向压 电效应，可以测得主切削力Pz；另外两对具有切向效应，方向互成90，可以测量径向力Py与进给力Px。 当空间任何方向的力作用在传感器上时，便能自动的分解成三个互 相