精密仪器设计基础课题.ppt

标记反射成像 （0.3-0.5 μm ） 扫描式 振动狭缝 （0.1 μm ） 导电式测头的工作原理：在测头的内部有一个未闭合的有电源电路，该电路断点的两端分别与测头上相互绝缘的测针、测头柄相连接，因此，测头的测 针和柄部实际上就是测头内部电路常开开关的两端；当测头通过柄部连接在 机床的主轴上时，由于机床和其工作台上的工件（金属材质）都是导电体， 所以只要测头上测针的触头与工件表面接触，测头内部的电路就会形成闭合 回路，电路立即开始工作。 在数控机床上采用测头进行测量的工作原理 ? ? 在数控机床上采用测头进行测量时，先将测头安装在机床的主轴上，然后操 作者手动控制机床移动，使测头测针上的触头与工件表面接触，由于机床的 数控系统实时地记录并显示主轴的位置坐标值，因此，可以结合测针的触头 与工件的具体位置关系，利用机床主轴的坐标值换算出工件被测量点的相关 坐标值 ? 。 获得工件的各个被测量点的相关坐标值以后， 再根据各坐标点的几 何位置关系进行相关计算②，便可以获得最终的测量结果 ? 。 由照明光源7照亮的分划板5上的三对双刻线，由与测杆相连的反射镜1反射，再经物镜2放大，最后成像在测角目镜分划板3上。反射镜1随测杆摆动时，三组双刻线的象随之左右移动。仅当测杆中心线与显微镜光轴重合时，双刻线的象位于米字分划板的中心位置。 当测头从不同方向触测工件时，克服内部弹簧所需的接触力并不相同， 这就导致了测头从不同方向触测工件时测头的预行程也不 同，降低了重复性精度。这是引起测量误差的最大误差源 [12] ，而该设计方式根本无法避免预行程的变化。另外，测 头测端与被测工件接触时，测杆由于受力会发生弯曲变形， 同样会引入测量误差，且该误差随着测杆的长度增加而增 加。Renishaw公司早期的触发式测头TP2，只能支持 10mm 长的测杆，预行程变化量为 3.28μm，单向重复性精度为 0.35μm。 标尺2经照明系统1照明，物镜3将标尺2上的刻线经析光棱镜4分别成像于两狭缝面5上，如果刻线像相对狭缝有位置变化，则穿过狭缝而到达光电接收组件6的光通量将变化，因此光电管所产生的光电流也发生变化，经电压放大后进行比较，最后由电表7显示，电表指零表示对准刻线。 但实际上在测量过程中由于各种因素的影响，如刻线质量不一致、成像质量、电源电压的波动、电子组件的老化等，使帷与相应的电压σ不稳定，因而导致对准误差。为了消除y值变化对准精度的影响，常采用双管差动式。 第八章 瞄准与对准系统 瞄准与对准精度：标志物体与被瞄准物体或其轮廓重合的程度。瞄准精度由两部分组成： 瞄准器标志部分的对准精度 接触式为接触变形，非接触式为转换电路的误差 设计时主要考虑下述几方面： 受力变形的影响 要有较高的硬度和耐磨性 在被测对象改变时，应能较方便地更换测头和定位装置，提高仪器的万能性。 一、 接触式瞄准方法 1、机械测头 圆锥测头：工作表面是外锥面，用于测量孔中心位置和孔中心距。 影响精度的主要因素是被测孔表面质量 球形测头：用于测量高度、槽宽、孔径和轮廓形状。 圆盘测头：用于测槽宽、轴颈等 凹圆锥测头：用于测定球体或曲线部分中心坐标。 V形块测头：用于测量轴类的轴心位置及中心距离等 直角测头：用于在垂直截面上测量孔和沟槽 根据被测物的形状选择测针 影响机械测头瞄准精度的因素 测量力引起的弯曲变形 接触变形量的大小与接触状态、测量力、测端的几何尺寸及测端和工件材料的弹性模量有关。(表8-3) 测量力引起的测杆挠曲变形 2、光电测头 光学灵敏杠杆 瞄准精度 0.5μm 光电灵敏杠杆 瞄准精度 0.2μm 3、电学测头 电磁式开关测头：电磁感应原理，测杆处于电磁感应最大值的位置时，发出过零信号。 瞄准精度 50μm 3、电学测头 电触式测头 当测端与被测工件接触时，产生的接触力由测杆传递至测头体内部的触发机构，当该力增大到足以克服内部弹簧的预压力时，触发机构的机械触点便脱离接触，进而发出触发信号。 瞄准精度 1μm 二、非接触式瞄准方法 光学法 对线法：直接利用分划板上的刻线对物体进行瞄准。 双像法（0.5μm） 互补色法 反射法 （0.2 μm） ） 三、典型光电对准系统 1、光电显微镜（0.01 μm -0.005 μm ） 光学显微 镜原理图 光度式光电显微镜 单管光度式光电显微镜 狭缝宽度a=刻线的像宽e 双管差动式光电显微镜（0.01~0.02μm） 相位式光电显微镜 2、光电准直仪 自准直原理：光线通过位于物镜焦平面的分划板后，经物镜形成平行光。平行光被垂直于光轴的反射镜反射后，分划板标线像与标线重合。 光电准直仪：当以光电瞄准对线代替人工瞄准对线时，就称为光电准直仪。 四、光电自动对准系统 自动对准