第6章超快超强激光加工精讲.ppt

(a) 200nm 200nm (c) TiO2 Si SiO2 200nm (b) Anatase and Rutile TiO2 nanocrystalline films Anatase TiO2 Rutile TiO2 ZnO films 飞秒激光制备的薄膜具有更好的发光性能 飞秒激光烧蚀制备大面积均匀纳米结构方面获重要进展最近，在中国科学院院士徐至展领导下，中山大学光电材料与技术国家重点实验室与中国科学院上海光机所强场激光物理国家重点实验室展开合作研究，采用飞秒激光烧蚀技术成功地在氧化锌、硒化锌等宽带隙材料及石墨表面实现了纳米光栅、纳米颗粒及纳米方块结构的大面积制备。且具有均匀性好，效率高，热效应小，通用性高，环保等优点，更为重要的是，经过这种方法处理后，材料表面的光电特性发生了显著改变，并可随纳米结构的改变而呈现不同的光谱特征。这种方法在新型光电器件等方面具有重要的潜在应用价值，有望提高LED 照明器件的发光效率和增加太阳能电池的吸收效率。相关成果发表在Optics Express (2008, 16,19354-19365)。纳米科技领域国际著名期刊Small (2008, 4, No. 12, 2099)专门报道了该项研究成果，并将它与美国科学家近期实现的“大面积组装单壁碳纳米管三维结构”并列为微纳结构合成制备新方法；另外，自然中国网站在Research Highlights 栏目中也专栏推荐并重点介绍了该成果。 飞秒激光微纳加工技术向着低成本、高可靠性、多用途、产业化的方向发展。 思考题 与常规脉冲激光加工相比，飞秒激光微加工有哪些优点和不足？ 与准分子激光沉积（PLC）相比，飞秒激光沉积有哪些优点和不足？ 超高速探测－－半导体超快过程研究 应用2－－获得阿秒脉冲 物质在高强度飞秒激光的作用下会出现非常奇特的现象：气态、液态、固态的物质瞬息间变成了等离子体。这种等离子体可以辐射出各种波长的射线的激光。高功率飞秒激光与电子束碰撞能够产生硬X射线飞秒激光，产生β射线激光，产生正负电子对 阿秒脉冲的重要应用 阿秒脉冲是短波长脉冲 对于给定的波长，最短的脉冲为一个光周期. 如果你想要得到更短的脉冲, 最有效的办法是减小它的波长! 单光周期红外脉冲: 单光周期的紫外光脉冲: 对于 800-nm 波长的光场而言，其光周期为 2.7 fs. 而光周期为1 fs 的光场则需要300 nm的波长. 高次谐波（High Harmonic Generation） 原子或分子在超强激光（1013W/cm2）的照射下辐射出高能光子的现象。最早由McPherson和Ferray,等人在试验中观测到。 gas jet Amplified femtosecond laser pulse x-rays 高次谐波的两个重要应用 短波长XUV相干光源。（波长~4nm) 目标：提高高次谐波的频率及效率。 阿秒X射线光脉冲。（脉宽~10-18s） 目标：减小阿秒脉冲的脉宽，增加阿秒脉冲的强度。 高次谐波具备阿秒脉冲产生的必要条件 波长能达到XUV波段。 频谱等间隔分布。 足够宽的谱带 ( 1015 Hz)。 空间上良好的相干性。 实现起来容易且稳定。 Maybe HHG just naturally produces attosecond pulses without even trying… 4.3nm Science 278, 661 (1997) 超短驱动脉冲+ 高电离能介质 超短脉冲激光能有效抑制原子的电离率，而保证高能谐波光子的获得。 超短脉冲驱动的极紫外高次谐波 水窗波段 应用3－－飞秒激光微加工 高功率飞秒激光在医学、超精细微加工、高密度信息储存和记录方面都有着很好的发展前景。 大幅降低手术风险 在传统板层刀手术中，如果刀片旋转过程中发生负压环松脱等意外，角膜瓣的制作将彻底失败，手术只能等三个月以后再做，给患者和医生带来极大的心理压力。而“飞秒激光”手术如出现类似意外的情况，医生只需将负压环再次戴上，立即补充激光即可，不需中断手术。因为飞秒激光在制作角膜瓣时，只产生一些水和气泡推开角膜组织，对组织无损伤，可对同一患处进行多次手术，安全性大大提高。 嵌入式角膜瓣，复位更准确。 板层刀是水平切削的，而眼球表面是一个球体，所以制作的角膜瓣剖面呈“杯盖”型，与眼球基体的固着性不够好；而飞秒激光制作的角膜瓣与眼球基体呈“地下井盖”型嵌入式咬合，复位轻松咬合紧密，不会错位，更不会出现碎瓣、纽扣瓣等并发症。同时，它的激光光源也避免了因使用板层刀可能导致的金属碎屑残留 应用4－－生命医学 治疗近视 飞秒用于生物医学 避免医源性感染。无接触。“飞秒激光”使人类第一次在角膜手术上离开了板层刀，手术过程中发生交叉感