L-MBE法制备β-Ga2O3薄膜及其掺杂与光敏特性的研究.pdfVIP

甅?法制备?狦??薄膜及其掺杂和光敏特性的研究摘要关键词：?狦?篛，薄膜；激光分子束外延；第一性原理；掺杂；光电探测器同时从理论和实验两个方面对????的掺杂问题进行了初步的探讨，在研究薄膜的光敏随着科学技术的发展，透明导电氧化物薄膜在平面显示、发光二极管、太阳能透明电极等领域的应用引起了越来越多的人的关注。而具有直接带隙的宽禁带半导体???云?较高的禁带宽度，优良的紫外透过性能成为继???蟮挠忠桓鲅芯咳鹊恪?本文采用了激光分子束外延的方法在单晶的??????牡咨现票噶藀???薄膜，特性时，制备了基于????腗?结构的紫外光电探测器，并对其性能进行了测试。论文的内容和主要成果如下：?⑼ü?幌盗惺笛椋?玫缴?び胖嗜∠虮∧さ淖钣挪问?撼牡孜露??℃、反应气压?之?、靶基距???，沉积过程完毕后原位保持???笤??℃下退火??⒍灾票傅膒．???∧そ?辛吮碚鳌１碚髂谌莅?ㄖ票腹?讨械腞??的监控来定性研究表面形貌，?湎哐苌浞治瞿诓拷峁梗?捎米贤饪杉??掌椎牟饬亢陀ü夥⒐獠?试来分析其光学性能等。?⒋永砺酆褪笛樯咸骄苛薔?粼拥腫????男阅堋２捎玫谝恍栽?砝砺鄯治隽薔?掺杂对????的能带结构、态密度的影响。实验制备了不同掺杂比的????薄膜，研究了掺杂后薄膜的表面形态、禁带和光学性能的变化情况，同时采用拉曼散射分析掺杂后的薄膜的晶格振动情况。?⒗?没竦玫腄．???∧ぃ?晒χ票噶巳彰ぷ贤夤獾缣讲馄髟?推骷??竦昧私虾?的日盲光敏效应。对器件的光响应度进行了计算，并对其光电流以及上升弛豫时间和衰减弛豫时间进行了测量，初步分析了器件存在的缺点。??? 狹?????琫??????????．??????，?甒??????????????????甇?????，?????．?????甀?????????猤?，??????????????，?????????，??????’??????瓽?????‘??????甌????瑆???????甌????瑃???????簅?????妫瑃??，????妫??????簎????????瑄???????琤????????????????．?瓺??????，??????．??瓸?? 簆??????籐—??籉?????????籨??；??????????????．???????????????，???????????? 目录第一章绪论?????????????????????????????????????．?第二章试验方法及原理?????????????????????????????????．．?摘要??????????????????????????????????????????????????????．?录?????????????????????????????????????????????????????．???概?摺??????????????????????????????????????????????????????男灾省??????????????????????????????????????????????????结构特点???????????????????????????????????的电学和光学性质及应用前景?????????????????????????牧系难芯肯肿础?????????????????????????????????本论文研究的目的和意义??????????????????????????????参考文献?????????????????????????????????????一???薄膜沉积技术?????????????????????????????????一???．?す夥肿邮?庋由?ぁ??????????????????????????????．?す夥肿邮?庋由?せ?怼????????????????????????????．?す夥肿邮?庋由?さ挠诺恪?????????????????????????????．?疚乃?褂玫募す夥肿邮?庋由璞浮?????????????????????????．?瓷涫礁吣艿缱友苌湟?????????????????????????．???薄膜沉积的原理????????????????????????????????．???．?∧こ粱?某珊斯?獭????????????????????????????????．?∧さ纳?つＪ健??????????????????????????????????薄膜样品的表征手段??????????????????????????????．??湎哐苌??????????????????????????????????．??恿ο晕⒕?????????????????????????????．???