透射电子显微技术课程方案.ppt

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透射电子显微技术 ---工作原理;;吸收电子 随着入射电子与样品中原子核或核外电子发生非弹性散射次数的增多,其能量和活动能力不断降低以致最后被样品所吸收的电子叫吸收电子。;二次电子 入射电子射到试样上使表面物质发生电离,被激发的电子离开试样表面而形成二次电子,又称为次级电子;二次电子在电场的作用下呈曲线运动翻越障碍进入监测器,因而试样表面凹凸的各种信息都能清晰成像。其强度与试样表面的几何形状等有关,二次电子的能量比较低,一般小于50eV。;俄歇电子 在入射电子束的作用下,试样中原子某一层电子被激发,其空位由高能级的电子来填充,使低能级的另一个电子电离,这种由于从高能级跃迁而电离逸出试样表面的电子称为俄歇电子;每种元素都有自己的特征俄歇能谱,因此可以利用俄歇电子能谱进行轻元素分析。; 一、透射电子显微镜的成像原理 电子光学原理简述 ? 从功能和工作原理上讲:电子显微镜和光学显微镜是相同的。其功能都是将细小物体放大到肉眼可以分辨的程度;工作原理都遵从射线的Abbey成像原理。 Abbey成像原理 ? 1873年,Ernst Abbe在研究如何提高显微镜的分辨率时,提出相干成像的新理论。 ? 将一束单色平行光照射到平面物体ABC上,使整个系统成为相干成像系统。 ? 光波经物体发生Fraunhofer衍射,在透镜后焦面上形成物的衍射花样。 ? 透镜后焦面上所有点作为新的次波源发出相干的球面次波在像平面上相干叠加给出物体的像。; 阿贝成像理论: (Abbe theory of image formation);透射电子显微镜光路原理图 ; 成像原理与光学显微镜类似。 它们的根本不同点在于光学显微镜以可见光作照明束,透射电子显微镜则以电子为照明束。在光学显微镜中将可见光聚焦成像的是玻璃透镜,在电子显微镜中相应的为磁透镜。 由于电子波长极短,同时与物质作用遵从布拉格(Bragg)方程,产生衍射现象,使得透射电镜自身在具有高的像分辨本领的同时兼有结构分析的功能。 ;二. 主要部件的结构与工作原理 ;双倾台是最常用的,沿X和Y轴倾转 ? 45度。 样品台的倾???和旋转装置可以进行三维立体分析,测定晶体的位向、相变时的惯习面以及析出相的方位等。;(二) 电子束倾斜与平移装置 ;(三) 消像散器(Stigmators) ;(四) 光阑(Diaphragm holders and choice of diaphragms) ;3. 选区光阑 为了分析样品上的微区,应在样品上放置光阑来限定微区,对该微区进行衍射分析叫做选区衍射。该光阑是选区光阑,也称限场光阑或视场光阑。 因为要分析的微区很小,一般数微米量级,要做这样小的光阑孔在技术上有难度,也很容易污染,因此选取光阑都放置在物镜的像平面位置。可以达到放置在样品平面上的效果,但光阑可以做的更大些。 如果物镜的放大倍数是50,则一个直径为50um的光阑可以选择样品上1um的微区。;Thank you !

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