等离子体与固体表面相互作用原理技巧.pptVIP

等离子体与固体表面相互作用原理 大连理工大学物理系 2004年2月;Content Chapter 1: Introduction Chapter 2: Plasma sheaths Chapter 3: Tow-body elastic collisions in solids Chapter 4: Nuclear stopping power Chapter 5: Electronic stopping power Chapter 6: Project-range theory for energetic ions in solids Chapter 7: Sputtering physics Chapter 8: Secondary electron emission;第一章：引言;如合成类金刚石薄膜，采用的工作气体为CH4 和H2，这样形成的Plasma中有： ;如利用CF4 进行等离子体刻蚀工艺，Plasma中有：;2、荷能性 等离子体中的电子、离子及中性粒子均是携带能量的。 在低气压等离子体中，电子的温度约为几个电子伏特，离子和中性粒子的温度约为几百度。但当在基片上施加偏压时，离子的能量更高，取决与施加的偏压。 对于电弧等离子体，整体荷能，电子温度和离子温度均在上万度。;3、开放性 （1）为了维持放电或控制Plasma 的形态，通常施加外电磁场。如：微波电磁场、射频感应耦合电磁场、静磁场等。 （2）对于等离子体工艺过程，放电时要不断进气和抽气。工作气体的密度要改变。;4、时空变化性 空间非均匀性： ? 放电装置的空间尺度有限 ? 器壁、电极、基片附近的等离子体 空间非均性的宏观体现：扩散、热传导、粘滞等 时间的瞬变性：放电的初期，变化的外电磁场 ;5、Plasma oscillations Langmuir 振荡：是电场力和惯性力共同作用的结果。 ;6、Plasma Screening 在外界扰动下，plasma中要出现电荷分离现象，产生局域电场。但这种局域电场要受到等离子体的屏蔽。 Debye Screening: ;7、等离子体的基本条件 一个放电系统，要产生plasma的基本条件为： 放电时间： 放电空间尺度： 附加条件：;二、等离子体源 1、DC glow discharges 2、RF glow discharges (a) Capacitive coupling; Inductive coupling 3、Microwave discharges electron cyclotron resonance (ECR) discharges 4、 Atmospheric-pressure discharges Dielectric barrier discharges (DBD); 1、DC glow discharges;Anatomy of a Cathode Glow, and Some Observations; 2、 Radio-frequency discharges (a) 电容耦合RF ;(b) 感应耦合 ;　　平面天线耦合的ICP;Radio frequency (RF) glow discharge plasma source (RFGD): produce a large volume, high density of stable plasma Capacitive RF discharges were the etching industry standard for years, and are slowly being replaced by inductively coupled plasmas (ICP).;Inductive coupling: RF current is passed through a conducting coil separated from the plasma chamber by an insulating window A current is induced in the plasma much in the same way as in an air core transformer With external electrodes a di