光刻的进展技术报告.ppt

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2016-07-20 发布于湖北
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光刻的进展技术报告.ppt

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基于光刻技术的微细加工技术进展;微光刻技术的发展;80年代;光学光刻;超微粒干版制备技术铬版制备技术氧化铁版制备技术 ;193nm光刻技术;极紫外（EUV）光刻技术;EUVL主要由光源、缩微光学系统、掩模光刻胶和光刻机等部分组成。;EUV光刻技术;X射线光刻技术;X射线光源;X光刻技术;电子束光刻技术;电子束直写技术;SCALPEL技术;纳米压印光刻技术;纳米压印技术;紫外光固化纳米压印技术;常用的压印模具材料有 Si、 SiO2、 Ni、石英玻璃( 硬模材料) 和聚二甲基硅氧烷 PDMS ( 软模材料) 。;光刻技术的发展趋势