硅片电阻测试仪.docVIP

?? 硅片电阻测试仪硅片电阻测试仪是用来测量硅片、硅单晶、锗单晶电阻率的测量仪器。它由电气测量部份（简称：主机）、测试架、四探针头及专业测量软件组成。功能特点?本套仪器的特点是主机配置双数字表，在测量电阻率的同时，另一块数字表（以万分之几的精度）适时监测全程的电流变化，免除了测量电流/测量电阻率的转换，更及时掌控测量电流。主机还提供精度为0.05%的恒流源，使测量电流高度稳定。主机配有恒流源开关，在测量某些薄层材料时，可免除探针尖与被测材料之间接触火花的发生，更好地保护箔膜。主机配置了“小游移四探针头”，探针游移率在0.1～0.2%。保证了仪器测量电阻率的重复性和准确度。本套仪器使用专用软件进行数据采集,可实现自动换向测量、存储,求平均值，最大值、最小值、最大百分变化率、平均百分变化率等内容。技术参数?测量范围 ■ 可测电阻率：0.0001～1.9*104Ω·cm 探针■ 使用几何尺寸十分精确的红宝石轴套，确保探针间距的恒定、准确。■ 控制宝石内孔与探针之间的缝隙不大于6μｍ，保证探针的小游移率。■ 采用特制的S型悬臂式弹簧，使每根探针都具有独立、准确的压力。■ 量具精度的硬质合金探针，在宝石导孔内稳定运动，持久耐磨。 恒流源 ■ 输出电流：DC 0.001～100mA 五档连续可调 ■ 量程：????0.001～0.01mA????0.01～0.10mA????0.10～1.0mA????1.0～10mA????10～100mA■ 恒流精度：各档均低于±0.05% 直流数字电压表■ 测量范围：0～199.99mV■ 灵敏度：10μV■ 基本误差：±（0.004%读数+0.01%满度） ■ 输入阻抗：≥1000ΩM 供电电源 ■ AC 220V±10% 50/60 Hz 功率：12W 使用环境 ■ 温度：23±2℃ 相对湿度：≤65%■ 无较强的电场干扰，无强光直接照射 重量、体积■ 主机重量：7.5kg■ 体积：365×380×160（单位：mm 长度×宽度×高度）