PVD-物理汽相淀积资料.ppt

第五章 物理气相沉积;5.1 PVD概述;5.1 PVD概述;5.1 PVD概述;5.1 PVD概述;5.2 真空蒸镀;5.2 真空蒸镀;5.2 真空蒸镀;5.2 真空蒸镀;5.2 真空蒸镀;5.2 真空蒸镀;5.2 真空蒸镀;5.2 真空蒸镀--蒸发源;5.2 真空蒸镀--蒸发源;5.2 真空蒸镀--蒸发源;5.2 真空蒸镀--蒸发源;5.3 溅射;5.3 溅射;5.3 溅射; 5.3 溅射 （1）无光放电区-ab段，导电而不发光。 电离产生的离子和电子在外电场作用下定向运动，运动速度随电压 增加而加快。直至达到饱和值，即电流从0逐渐增加至达到某一极大值，电压再增加，电流并不增加。因为电离量很少且恒定，电压再增加，到达电极的电子和离子数目不变。 （2）汤生放电区-bc段，离子和电子数目雪崩式的增加，放电电流迅速增大。电压是常数（受到电源高输出阻抗和限流电阻的限制） （3）辉光放电-气体突然发生放电击穿现象，电流显著增加，放电电压显著减少。 c点-放电??着火点。处于阴极的边缘和不规则处。 cd段-前期的辉光放电。电流增加，电压减小（负阻现象）。因为气体已经被击穿，气体内阻随电离度的增加显著减小。 ;5.3 溅射;5.3 溅射;5.3 溅射;5.3 溅射;5.3 溅射;5.3 溅射;5.3 溅射-溅射方法;5.3 溅射;5.3 溅射;;5.3 溅射;5.3 溅射