41光学薄膜系统设计概论.ppt

第三章 光学薄膜系统设计;没有系统的方法 具有非常丰富的膜系设计结果 光学薄膜设计结果受制备工艺的制约 （材料种类、物理特性、化学特性、工艺特性） ;一、试探法： 初始结构 计算机数值计算 修改设计参数 计算机数值计算;评价函数：; 全搜描法（工作量太大） 试验法 统计试验法 例：单层膜;单层增透膜;矢量法用来分析单层薄膜情况：;运用矩阵法分析1/4波长厚度时的情况：;;;双层增透膜的导纳轨迹;非规整双层层增透膜;二. 双层增透膜;图2 双层V型膜的反射率曲线;只有当矢量r1、r2和r3组成封闭三角形才能使合矢量为零。因此只须以矢量r1的始点和终点为圆心，分别以r3和r2为半径作两个园，两个园的交点就是满足合矢量为零条件的矢量r2和r3头尾相接的点，然后从矢量图上即可量得2δ1、2δ2的值。显然，图示的两种方式，都能使三角形封闭。解(b)的膜层总厚度比解(a)的小，它对波长的敏感性也较小，所以通常取此解。;2. W型膜( ) ：在中心波长的两侧可望 有两个反射率极小值，光谱反射率曲线呈W型。;三. 多层增透膜（宽带增透膜）： 又四分之一波长层或半波长层构成，可以看作是V型膜和W型膜的改进形式。;反射率曲线变化为：;将W型膜 中间半波长层分成折射率稍稍不同的两个四分之一波长层，可以降低W型膜低反射区中央的反射率凸峰，又保持半波长层的光滑光谱特性作用。; 三层增透膜改进 前后的光谱反射率曲线;层数;;减反射膜应用于光学系统时的考虑;减反射膜的工艺要点:;高折射率基底材料的的减反射膜; 在光学薄膜中，反射膜和增透膜几乎同样重要， 对于光学仪器中的反射统来说，由于单纯金属膜的特性大都已经满足常用要求，因而我们首先讨论金属反射 膜，在某些应用中，若要求的反射率高于金属膜所能达到的数值则可在金属膜上加额外的介质膜以提高它们的反射率， 最后介绍全介质多层反射膜，由于这种反射膜具有最大的反射率和最小的吸收率因而在激光应用中得到了广泛的使用。;一、金属反射膜;下图为1、2、4、8、16、32、64、128nm铝膜反射率的理论曲线;金属反射膜的反射率;;银膜用作玻璃的前表面镀层:;其反射率为：; 若继续蒸镀第二对这样的介质膜，甚至可使反射率增加到接近99％，不足之处是反射率得到增加的区域是有限的。;增强反射镜;二、多层介质高反射膜;因而，在空气中垂直入射时，中心波长的反射率，也即极大值反射率为：;;垂直入射的 高反射膜系的光谱反射率曲线;高反射带的宽度计算：;介质高反射典型膜系是 多层介质膜A | H(LH)S | G，即由许多个两层膜周期加一层高折射率的外层膜构成。每个周期的特征矩阵：;这表明高反射带的宽度，仅仅同构成多层膜的两种膜料的折射率有关。折射率的比值越大，高反射带越宽。;;相应的用波长表示带宽范围;同样道理，在1/3、1/5、1/7、1/9处的反射带边界为：;高反射膜的典型膜系： G| (HL)sH |A;简单的叠加不行;应用两个λ/4膜系合成一个宽带反射镜，λ0=1.6;如何减小反射带宽;高反射膜的工艺要求;;一、金属分束镜;二、介质分光镜;R;2.多层分光膜;为得到中性程度好、R/T接近1介质膜立方体分束镜，可以增加膜层层数，通过优化，设计特性良好的分束镜。;3.偏振分束镜：利用光的偏振实现50/50中性分光。它的原理是对折射率不同的两种介质分界面n1/n2, 当入射角满足布儒斯特角条件???，即 ，P偏振光反射为零，而s偏振光则部分反射。为增加s偏振光的反射率，保持p偏振光透过率接近1，可以将两种材料交替淀积制成多层膜，当膜层足够多时，就能满足要求。;设想如果两种不同材料的有效折射率对P-偏振来说是相等的;⑴选择nH、nL、 θg后决定玻璃ng的折射率；;立方棱镜偏振分光镜光谱;在倾斜入射时，存在如下关系：;;分光膜的工艺要点：