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多功能蒸镀镀膜系统暨多靶磁控溅镀仪一套规格书
多功能蒸鍍鍍膜系統暨多靶磁控濺鍍儀一套規格書
（一）規格內容
A、Organic Process Chamber 1：
1.真空腔體： (1)腔體： *腔體尺寸: 600 (D)m/m×750 (H)m/m×650 (W) m/m
*腔體材質: SUS304拋光鋼材 *外箱材質: 鏡面烤漆 *前門開啟腔體
*4吋視窗玻璃 × 2 *焊接方式：全周氬焊
(2)真空抽氣系統
(a)進口機械真空幫浦（Oil Pump）-
*model：Pfeiffir 2033SD
*Pumping speed：660 L/min
*Ultimate pressure：＜ 3.0×10-3 Torr
(b)冷凝真空幫浦 ×1
* model：CTI Torr8
*最高排氣速度：4200 L/sec （for water）
*Inlet Flange：ISO200
*電源電壓：單相 AC220V 60Hz *冷卻方式：水冷
(c)閥門及管路
*粗抽真空氣動閥×1 NW 40 Angle Valve (SMC)
*精抽真空氣動閥×1 ISO 200 Gate Valve (HVA)
*前級真空氣動閥×1 NW40 Angle Valve (SMC)
*洩真空閥? 1/4” Valve ×1
*SUS304真空管路 ×1 批
2. 承載盤旋轉機構：
*基座可公轉旋轉
*感應馬達 ×1pc：Max 20RPM
*可放置100mm × 100mm基板一片或分割4組小實驗片
*substrate遮板×1
*4組小實驗片獨立遮板機構
3.承載盤升降機構×1
*基座可升降(取放基板用)
*感應馬達 ×1pc
4. 蒸鍍系統：共蒸鍍設計
*熱蒸鍍電源供應器 × 9
*遮板 × 9
* For Thermal x 3
*For Organic x 6
5..量測系統： (a)真空量測：
*全領域真空計：1 ATM~10-9 Torr ×1(Pffiffer PKR-251)
*Cryo Pump 前級真空計：1 ATM~10-4 Torr × 1 (Pffiffer TPR-280)
*ATM Switch×1
(b)Film Thickness Monitor：
* Inficon SQM160 × 2
*Crystal Sensor for Organic ×3 pcs
*Crystal Sensor for Metal ×1 pcs
*Crystal Sensor for Substrate ×1 pcs
*Frequency Range 4 to 6 MHz
6. 基板加熱系統：
*基板Max 300℃
*使用SCR控制方式
*K Type感測器 ×2
*CB700溫度控制器 ×1
*CB100過溫保護器 ×1
7. 自動傳片裝置安裝於腔體與手套箱連結處，???自動傳輸方式將Holder傳入腔體。
a. 氣動傳送閥門(Slit Valve) x 1
*連接手套箱與蒸鍍機間之傳送閥門
*閥門開口尺寸236 mm× 46mm
b. 手套箱自動取放片機構x 1
*馬達帶動線性傳送平台 (裝置於手套箱內)
*載片傳送手臂 (線性傳送)
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