螺杆干式真空泵的设计.docVIP

目录  TOC \o 1-3 \h \z \u  HYPERLINK \l _Toc201521841 第一章 绪论  PAGEREF _Toc201521841 \h 4  HYPERLINK \l _Toc201521842 1.1 课题背景及研究意义  PAGEREF _Toc201521842 \h 4  HYPERLINK \l _Toc201521843 1.2 螺杆真空泵在国内外的研究现状与发展方向  PAGEREF _Toc201521843 \h 6  HYPERLINK \l _Toc201521844 第二章 螺杆干式真空泵转子型线的研究  PAGEREF _Toc201521844 \h 8  HYPERLINK \l _Toc201521845 2.1 常见转子型线比较  PAGEREF _Toc201521845 \h 8  HYPERLINK \l _Toc201521846 2.2 多头双边对称圆弧型线  PAGEREF _Toc201521846 \h 9  HYPERLINK \l _Toc201521847 2.2.1转子型线要素  PAGEREF _Toc201521847 \h 10  HYPERLINK \l _Toc201521848 2.2.3 多头双边对称圆弧型线方程  PAGEREF _Toc201521848 \h 12  HYPERLINK \l _Toc201521849 第三章 螺杆干式真空泵工作原理  PAGEREF _Toc201521849 \h 16  HYPERLINK \l _Toc201521850 第四章 螺杆干式真空泵设计计算  PAGEREF _Toc201521850 \h 19  HYPERLINK \l _Toc201521851 4.1螺杆基本尺寸  PAGEREF _Toc201521851 \h 19  HYPERLINK \l _Toc201521852 4.2排气量  PAGEREF _Toc201521852 \h 21  HYPERLINK \l _Toc201521853 4.2.1理论排气量  PAGEREF _Toc201521853 \h 21  HYPERLINK \l _Toc201521854 4.2.1实际排气量  PAGEREF _Toc201521854 \h 21  HYPERLINK \l _Toc201521855 4.3进排气孔口  PAGEREF _Toc201521855 \h 22  HYPERLINK \l _Toc201521856 4.3.1轴向进气口  PAGEREF _Toc201521856 \h 22  HYPERLINK \l _Toc201521857 4.3.2轴向排气口  PAGEREF _Toc201521857 \h 23  HYPERLINK \l _Toc201521858 4.4极限真空度、功率及冷却水量  PAGEREF _Toc201521858 \h 23  HYPERLINK \l _Toc201521859 4.5轴的强度计算  PAGEREF _Toc201521859 \h 24  HYPERLINK \l _Toc201521860 4.6同步齿轮的设计计算  PAGEREF _Toc201521860 \h 24  HYPERLINK \l _Toc201521861 4.6.1齿轮尺寸计算  PAGEREF _Toc201521861 \h 24  HYPERLINK \l _Toc201521862 4.6.1齿轮强度校核  PAGEREF _Toc201521862 \h 25  HYPERLINK \l _Toc201521863 参考文献：  PAGEREF _Toc201521863 \h 26  螺杆式干式真空泵 摘 要：近年来在半导体工业和液晶显示器制造等工艺中，对清洁真空环境的要求越来越高。如在半导体的等离子增强气相沉淀(PECVD)和反应离子刻蚀(RIE)工艺中，在液晶生产上使用的蚀刻制程和生产TFT荧幕电浆(PLASMA)的CVD制程中，不但要求环境清洁，而且还需要抽除大量含有微小颗粒及粉尘的反应生成气体。这些问题都不是传统的有油泵所能解决的。本文的研究对象——螺杆式干式真空泵，抽气腔内无任何工作液，保证了被抽空间不受污染;无油蒸汽排放，保证了