电子科大薄膜物理(赵晓辉)第一章 真空.ppt

第一章 真空技术基础 ;主要内容;§1-1 气体与真空;1. 气体、蒸汽 ?;P = F / A=nMvrms2/3NA 气压来源于气体分子对器壁的不断碰撞。 气体分压;PARTIAL PRESSURES OF GASES CORRESPOND TO THEIR RELATIVE VOLUMES;T (O C) 100 25 0 -40 -78.5 -196;气体的饱和蒸汽压;部分固体的饱和蒸汽压;3. 真空;4. 压力单位; 用“真空度”及“压强”两个参量来衡量真空的程度 帕斯卡（Pascal）=1牛/米2，国际单位制 托（Torr）=133.322Pa=1/760atm单位，描述真空的独特单位 此外，mmHg、atm、bar等。 ;5. 为什么需要真空?;5. 为什么需要真空?;6. 真空的划分 ;§1-2 稀薄气体的基本性质 ;2. 气体分子的速度分布 ;气体分子速度分布;3. 三个重要速度表示;4.平均自由程 MEAN FREE PATH;代入理想气体状态方程 得 : 对于25℃空气 ;分子密度与平均自由程;碰撞几率;5. 分子通量与余弦散射律 ;（2）气体分子从固体表面的反射几率 ;;流体机制;平均自由程特征长度;气源;气体负荷;抽气曲线;§1-3 真空的获得 ;泵将气体抽出系统？;真空泵Vacuum pump;主要的真空泵 ;1. 机械泵（旋片式机械泵） ; Pn不可能趋于零，因为： A.在出气与转子密封点之间存在着“有害空间”。 B.单等级泵时进气口与排气口压力差大。 C.泵油在高温摩擦下，裂解形成轻馏成份。 D.水蒸汽凝结，形成悬浊液;双级泵工作原理;1. 旋片式机械泵的缺点;返油;压缩过程中会产生水和丙酮的凝结。为避免凝结，通过气镇阀引入气体，使可凝性气体到达饱和蒸汽压之前，压缩气体压力已达到排气压力，将气体排出。;2. Roots--罗茨泵;真空泵工作示意图;单级罗茨真空泵结构图;C (blower + rotary piston) （罗茨泵+旋转活塞泵） D (rotary piston) （旋转活塞泵） A (blower + rotary vane) （罗茨泵+旋片泵） B (rotary vane) （旋片泵）;3. 扩散泵 ;顶级喷口拥有最纯的油蒸汽;工作原理;抽速变化;污染油蒸汽的释放 ;最大出口气压;液氮冷阱+挡板;油扩散泵;4. 分子泵;气体随转子作圆周运动，获得离心力，与转子上页碰撞，按余弦定律散射，获得速度，后与定子下交碰撞，再获向下速度分量。 条件：（1）起始工作气压小，平均自由程大。 常压下，空气λ=0.06μm，1.3Pa，λ=4.4mm要求λ大于叶片间距。 （2）转子叶片线速度与气体分子速度相近分子量大、气体易抽，H2难抽。H2最可几速率1557m/s，极限真空残余气体中。85%为H2。 ;涡轮分子泵工作原理;涡轮分子泵;5. 钛升华泵;6. 溅射离子泵 ;当真空系统压力降到 10-3 Torr 时, 离子泵才开始正式发挥作用。;溅射离子泵;7. 冷凝泵;冷凝泵工作原理;低温冷凝;低温吸收;活性炭的摆放;;泵的工作范围（续）;§1-4 真空的测量 ;热阴极电离真空计 、B-A型真空计 利用气体电离与压强的关系 测量范围（Pa） 10-1－10-6、10-1－10-10 潘宁磁控电离计 利用磁场中电离与压强的关系 测量范围（Pa） 1－10-5 气体放电管 利用气体放电与压强的关系 测量范围（Pa） 103－1 ;布顿式真空计 热偶真空规;热偶真空计 ;热导规对不同气体的灵敏度;3.电容压力计;4. 电离真空计 ;测量范围 ：10-8-10-2 torr 由钨丝，金属格，收集极组成，均封装于玻璃管中，与被测气体相连。当气压升高，电流增大。;电离规对不同气体的相对灵敏度;5. 残余气体分析仪（RGA）;RGA 工作原理;MASS NUMBER (A.M.U.);5. 温度对压力测试准确性的影响;;§1-5 真空部件;Bellows—波纹管;Valves—真空阀;Feedthroughs—连接件;Gasket—密封环;Mass Flow Controller—流量计;分子筛和沸石阱;Thermocouple—热电偶;Heating System;§1-6 LEAK DETECTION 检漏;漏气的可能;T