清华大学测试与检测技术基础_王伯雄_第6章被测量的获取2解说.pptVIP

第四章 被测量的获取;4.6 电感式传感器;一、自感式 ; 当不考虑磁路的铁损且当气隙δ较小时，则该磁路的总磁阻 式中 l－铁芯的导磁长度(m); μ－铁芯磁导率 (H/m); A－铁芯导磁截面积,A=a×b(m2); δ －气隙宽(m); μ0－空气导磁率, μ0=4π×10-7(H/m); A0－空气隙导磁横截面积(m2) 忽略第一项情况下可得总磁阻Rm近似为 ; 将上式代入（4.24）则有 当A0固定，变化δ时，L与δ成非线性变化关系（见图4.15曲线），此时传感器灵敏度 灵敏度S与δ的平方值成反比，由于不是常数，因此会产生非线性误差。因此这种传感器常规定在较小气隙变化范围内工作。则由（4.28）式得： 当气隙变化甚小即Δδδ0时，灵敏度S进一步近似为 S此时为一定值，输出与输入近似成线性关系。实际应用中常选取Δδ/δ≤0.1。这种传感器适宜于测量小位移，一般为0.001~1mm。 ;图4.16 变磁阻式电感传感器结构形式 ;自感式传感器应用 图(a)测量透平轴与其壳体间的轴向相对伸长； 图(b)用于确定一磁性材料上非磁性涂覆层的厚度； 图(c)测量在一高压蒸汽管道中阀的位置。 ;涡流式 定义：当金属导体置于变化着的磁场中或者在磁场中运动时，在金属导体内部会产生感应电流，由于这种电流在金属导体内是自身闭合的，因此称之为涡电流或涡流。 原理：当线圈中通以一交变高频电流 时，会引起一交变磁通Ф。在靠近线圈的金属表面内部产生一感应电流i1，该电流i1即为涡流。根据楞次定律，由该涡电流产生的交变磁通Ф1将与线圈产生的磁场方向相反，亦即Ф1将抵抗Ф的变化。由于该涡流磁场的作用，会使线圈的等效阻抗发生变化，其变化的程度除了与两者间的距离δ有关外，还与金属导体的电阻率ρ、磁导率μ以及线圈的激磁电流圆频率ω等有关。 ;电涡流传感器与被测物体的等效电路 ： 图中金属导体被抽象为一短路线圈，它与传感器线圈磁性耦合，两者之间定义一互感系数M，表示耦合程度，它随间距δ的增大而减小。 电涡流传感器分类： 高频反射式； 低频透射式。 用途：测量位移、振动等物理量。 ;低频透射式涡流传感器：多用于测量材料的厚度 ;涡流传感器的测量电路一般有阻抗分压式调幅电路及调频电路。 ;涡流式电感传感器的应用：;用来测量位移和角度： 当图中的短路环相对于线圈1移动或转动时，由于产生的涡流作用，将影响磁通量的变化，该变化的量则正比于所移动的距离或转动的角度。 ;测量磁性材料或介质（液体或气体）的温度： 原理：导体的电阻率随温度变化而变化： ρ1－温度为t1时导体的电阻率； ρ0－温度为t0时导体的电阻率； α－导体的电阻温度系数。 当导体的电阻率随温度发生变化时，涡流传感器的输出亦将发生变化，其变化量正比于温度变化值。 ;二、互感式 ;互感式传感器实质上就是一个变压器，其初级线圈接入稳定的交流激励电源，次级线圈被感应而产生对应输出电压。 由于次级常采用两个线圈接成差动型，故这种传感器又称差动变压器式传感器。 实际中应用较多的是螺管线圈形差动变压器。;差动变压器式传感器的特点 ： 测量精度高（可达0.1μm量级） ； 线性量程大（可达±100mm）； 稳定性好，使用方便。 用途： 直线位移的测量； 转动位移的测量； 借助于弹性元件也可将压力、重量等物理量转换成位移量，因此也可用于力的测量。 ;三、磁弹性测力传感器 ;4.7 电容式传感器;一、间隙变化型 ; 当Δδ为小值时，在ΔC/C与Δδ/δ之间可近似为一线性关系。如当Δδ/δ =0.1时，按（4.39）式计算所得的线性偏差为10%，而当Δδ/δ =0.01时，该偏差降至1%，因此对小的间隙变化，式（4.39）可进一步舍去二次项，从而可得电容变化量 电容传感器的灵敏度 实际应用中为提高传感器的灵敏度，常采用差动式结构。 由此可得灵敏度 ;二、面积变化型 ; 图中(b)为通过线性位移改变电容器极板面积的型式。当动电极在x方向有位移Δx时，极板面积的改变量将是 电容的改变量将是 其灵敏度 可见该灵敏度为一常数，因此输入、输出关系为线性。 ; 图中(a)为转角型结构，当改变两极板间的相对转角时，两极板的相对公共面积发生变化。由图可知，该公共覆盖面积 α-公共覆盖面积对应的中心角； r-半圆形极板半径。 因此当有转角变化Δα时，电容量改变 同样得这种情况下电容器的灵敏度 ; 图中（c）为圆柱体线位移型结构，其中圆周为固定，圆柱在其中移动。利用高斯积分可得该电容器的电容量 式中 D－圆周内径； d－圆柱外径。 两者覆盖长度x的变化为Δx时，电容变化量 其灵敏度 ;也可将变面积型传感器做成差动型的。;三、介质变化