真空获得与真空泵.ppt

真空概念 真空获得与真空泵 真空测量;真空单位;粗真空 低真空 高真空 超高真空;1.由理想气体状态方程 PV=(m/M)RT 可得 n=7.2×1022P/T (个/m3);2.气体分子平均自由程：气体分子之间相邻两次碰撞的距离。;不同真空区域物理特性;3.单位面积上分子与固体表面碰撞的频率： ; 在普通高真空，例如 时，对于室温下的氮气， ，如果每次碰撞均被表面吸附，按每平方厘米单分子层可吸附 个分子计算，一个“干净”的表面只要一秒多钟就被覆盖满了一个单分子层的气体分子：在超高真空 或 时。 ;tML气体分子覆盖表面一个单原子层的时间;真空的获得与真空泵;;工作过程： 气体从入口进入转子和定子之间 偏轴转子压缩空气并输送到出口 气体在出口累积到一定压强，喷出到大气 工作范围及特点： Atmosphere to 10-3 torr 耐用，便宜 油润滑，污染 缺点：返油、振动;;罗茨泵Roots pump;涡轮分子泵;液氮冷却有很大表面积的分子筛 Atm~10-3 Torr (可以用两个泵交替工作) 很容易饱和 200 °C 烘烤除去吸附的气体 简单便宜,无油污染;加热油从喷嘴喷出，气体分子与油分子碰撞，向出气口运动 需要水冷，前级泵 10-3 to 10-7 Torr (to 10-9 Torr，液氮冷阱);离子泵;三极型离子泵;真空测量;低真空(atm ~10-4 Torr) 热偶 Pirani 真空计 膜片式真空计 高真空 电离规 Ion Gauge 剩余气体分析Residual Gas Analyzer;热偶真空计Thermocouple Gauge;Pirani Gauge;高真空测量：电离规(Ion Gauge);真空材料;常用真空材料