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第四章 多晶体分析方法;4.1 X射线衍射仪
4.2 X射线物相分析
4.3 点阵常数的精确测定
4.4 宏观应力的测定
4.5 微观应力及晶粒大小的测定
4.6 非晶态物质及晶化后的衍射
4.7 膜厚的测定
4.8 多晶体的织构分析;4.3.1 测量原理
4.3.2 误差源分析
4.3.3 测量方法;点阵常数是晶体的重要基本参数;;测定点阵常数通常采用X射线仪进行:
1,获得晶体物质的衍射花样;;和布拉格方程:;波长λ是经过精确测定的,有效数字可达7位;
点阵参数的精度主要取决于sinθ的精度;;误差分为偶然误差(或称无规则误差)和系统误差两类。
偶然误差来自测量衍射线峰位时的判断错误或偶然的外界干扰,没有一定的变化规律,也无法消除。对于偶然误差,只有通过增加测量次数,统计平均将其降低到最低程度。
系统误差是由实验条件(仪器和试样等)引起的系统偏差,其特点是其大小按某种误差函数作有规律的变化。对具体的实验方法进行分析,可找到误差变化的规律性(误差函数),就可用数学方法修正误差。 ;θ角的测定精度取决于仪器和方法:
在衍射仪上用一般衍射图来测定,约可达0.02°;
照相法测定的精度就低得多(比如说,0.10)。
照相法主要的误差有:相机的半径误差,底片的伸缩误差、试样的偏心误差以及试样的吸收误差等等。
当采用衍射仪测量时,尚存在仪器调整等更为复杂的误差。 ;利用多晶体衍射图像上每条衍射线都可以计算出点阵常数的值,但哪一条衍射线确定的点阵常数值才是最接近真实值的呢?;4.3.2 误差源分析;4.3.2 误差源分析;4.3.2 误差源分析;测量的误差包括:;德拜-谢乐法常用于点阵常数的精确测定,其系统误差的来源主要有下列几种情况:;为了校正德拜-谢乐法中的各种误差,可以采取两种主要的方法,即精密实验技术和数学处理方法。;三、点阵参数的精确测定——误差处理方法; 衍射峰位置的确定; 衍射峰位置的确定-半高法; 衍射峰位置的确定-抛物线法;实际能利用的衍射线,其θ角与90°总是有距离。不过可以设想外推法接近理想状况。
例如,先测出同一种物质的多根衍射线,并按每根衍射线的角计算出相应的值。
以θ为横坐标,为纵坐标,所给出的各个点子可连接成一条光滑曲线值,将曲线延伸使之与θ=90°处的纵坐标相截,则截点所对应的值即为精确的点阵参数值。;曲线外延难免带主观因素,故最好寻求另一个量(θ的函数)作为横坐标,使得各点子以直线的关系相连接。不过在不同的几何条件下,外推函数却是不同的。人们对上述误差进行了分析总结,得出以下结果 ;对立方晶系:;前面的误差函数在推导过程中采用了某些近似处理,它们是以背射线条(高θ角)为前提的。
cos2θ外推要求全部衍射线条的θ>60°,而且至少有一根线其θ在80°以上。
在很多场合下,要满足上述要求是困难的,故必要寻求一种适合包含低角衍射线的直线外推函数。
Nelson.J.B等用尝试法找到了改进的外推函数: ;;直线图解外推法仍存在一些问题:
1、首先在各个坐标点之间划一条最合理的直线同样存在主观因素;
2、其次坐标纸的刻度不可能很精确。
为避免这些问题,另一种方法是采用最小二乘法。
这种实验数据处理的数学方法是由柯亨(M.U.Cohen)最先引入到点阵常数精确测定中的,所以也常常称之柯亨法。 ;最小二乘法原理
若对某物理量作n次等精度测量,其结果分别为L1,L2,L3,…Li…Ln。通常采用其算术平均值L=(∑Li)/n 作为该量的“真值”。按照最小二乘法原理,L可能并非最佳的真值。
L—Li称为残差或误差。按以下方法确定的L值是最理想的,即:它能使各次测量误差的平方和为最小。
用最小二乘法对数据进行处理可以将测量的偶然误差减到最小。;当误差函数取为:;4.3.3 测量方法;4.3.3 测量方法;尚需指出,图解法或者最小二乘法仅是一种处理方法而已,它必须以准确的测量数据作为基础。
当用衍射仪测定衍射线的位置时,惯常采用的峰顶法(即以衍射峰的顶点作为衍射线的位置)已不能满足要求,而且衍射图的数据存在较多的误差因素。
比较可靠的是采用三点抛物线法定峰。若要求更高,还可以采用五点或多点捃物线测量。 ;最小二乘法所能做到的是确定所选方程式中常数项的最佳值,或者说确定曲线的最佳形状,所以必须先知道函数的形式。
在此,要先知道误差函数的形式,如这里的误差函数可以取不同的函数:;正确估计及消除误差,需要借助于数理分析,在某些场合下,误差的来源以及函数形式很难确定。但是,用简单的实验方法也可消除误差。“标准样校正法”就是常用的一种。
有一些比较稳定的物质如Ag、Si、SiO2等,其点阵参数业经高一级的方法精心测定过。例如纯度为99.999%的Ag粉,a=0.408613nm;99.9%的Si粉, a=
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