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2016-07-26 发布于湖北
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2-3电阻式传感器

3.4 电阻应变片的测量电路 ;3.电压灵敏度 ;设桥臂比n=R2/R1,由于ΔR1R1 ,可得:;当供桥电压E 确定后，由 ;;（1）非线性误差实际的非线性特性曲线与理想的线性特性曲线的偏差称为绝对非线性误差；绝对非线性误差与理想的线性特性曲线的比称为相对非线性误差，用r 表示。 ;（2-32）;① 提高桥臂比从（2-32）式可知，提高桥臂比n可使非线性误差减小；但电桥电压灵敏度SV 将降低。为了不降低SV ，必须适当提高供桥电压E。 ;② 采用差动电桥 a.半桥差动 ;结论：U0 与ΔR1/R1 成线性关系，差动电桥无非线性误差；电压灵敏度SV= E/2 ，比使用单只应变片提高了一倍。 ;b. 全桥差动若满足 ΔR1=ΔR2=ΔR3=ΔR4 则输出电压为： ;3.4.2 交流电桥 ;设各桥臂阻抗为: Z1= r1+jx1 = z1exp(jφ1) Z2= r2+jx2 = z2exp(jφ2) Z3= r3+jx3 = z3exp(jφ3) Z4= r4+jx4 = z4exp(jφ4);3. 交流电桥的不平衡状态 ;3. 交流电桥的调平方法 ;直流电桥的调平方法;图2-15 交流电桥平衡调节; 半导体应变电桥的非线性误差很大，故半导体应变电桥除了提高桥臂比、采用差动电桥等措施外，一般还采用恒流源.;解该方程组得:;若电桥初始平衡，且R =R2 =R3=R4=R，当第一桥臂电阻R1 变为R1+ΔR1 时，电桥输出电压为： ;使用恒流源的非线性误差为：;3.5 固态压阻式传感器;3.5.2? 压阻系数;影响压阻系数因素：扩散电阻的表面杂质浓度和温度。扩散杂质浓度NS增加时，压阻系数就会减小。压阻系数与扩散电阻表面杂质浓度NS的关系如图。;1—N-Si膜片 2—P-Si导电层 3—粘贴剂 4—硅底座 5—引压管 6—Si 保护膜 7—引线?