2.2认识晶体硅太阳能电池制造的设备ppt.ppt

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2016-07-26 发布于湖北
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2.2认识晶体硅太阳能电池制造的设备2; 一、认识湿法刻蚀设备; 一、认识湿法刻蚀设备; 一、认识湿法刻蚀设备;一、认识湿法刻蚀设备;二、认识管式PECVD镀减反膜设备;二、认识管式PECVD镀减反膜设备;*; 石墨舟：用于管式PECVD，主要由石墨片及陶瓷棒构成，陶瓷棒起到绝缘作用，石墨片用于导电形成相应的反应磁场；舟内有卡点，每片为三个点，用于固定硅片。;*;*;*;二、认识管式PECVD镀减反膜设备;